Sud susceptora potiahnutý SiC pre komoru epitaxného reaktora

Susceptorový valec potiahnutý SiC od spoločnosti Semicorex pre komoru epitaxného reaktora je vysoko spoľahlivé riešenie pre procesy výroby polovodičov, vyznačujúce sa vynikajúcou distribúciou tepla a tepelnou vodivosťou. Je tiež vysoko odolný voči korózii, oxidácii a vysokým teplotám.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Susceptorový valec s povlakom SiC od spoločnosti Semicorex pre komoru epitaxného reaktora je produkt prémiovej kvality, vyrobený podľa najvyšších štandardov presnosti a odolnosti. Ponúka vynikajúcu tepelnú vodivosť, odolnosť proti korózii a je veľmi vhodný pre väčšinu epitaxných reaktorov pri výrobe polovodičov.
Naša susceptorová hlaveň potiahnutá SiC pre komoru epitaxného reaktora je navrhnutá tak, aby sa dosiahol najlepší laminárny vzor prúdenia plynu a zabezpečila sa rovnomernosť tepelného profilu. To pomáha predchádzať akejkoľvek kontaminácii alebo difúzii nečistôt a zabezpečuje vysokokvalitný epitaxiálny rast na doštičkovom čipe.
Kontaktujte nás ešte dnes, aby ste sa dozvedeli viac o našom sude susceptora potiahnutého SiC pre komoru epitaxného reaktora.

Parametre suda susceptora potiahnutého SiC pre komoru epitaxného reaktora

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300

Vlastnosti suda susceptora potiahnutého SiC pre komoru epitaxného reaktora

- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú dobrú hustotu a môžu hrať dobrú ochrannú úlohu vo vysokoteplotných a korozívnych pracovných prostrediach.

- Susceptor potiahnutý karbidom kremíka používaný na rast monokryštálov má veľmi vysokú rovinnosť povrchu.

- Znížte rozdiel v koeficiente tepelnej rozťažnosti medzi grafitovým substrátom a vrstvou karbidu kremíka, účinne zlepšite pevnosť spojenia, aby sa zabránilo praskaniu a delaminácii.

- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú vysokú tepelnú vodivosť a vynikajúce vlastnosti rozvádzania tepla.

- Vysoká teplota topenia, odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote, odolnosť proti korózii.