Sudový susceptor reaktora s karbidovým povlakom

Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor je grafitový produkt prémiovej kvality potiahnutý vysoko čistým SiC, navrhnutý špeciálne pre procesy LPE. Vďaka vynikajúcej odolnosti voči teplu a korózii je tento produkt ideálny na použitie v aplikáciách výroby polovodičov.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Ak hľadáte vysoko výkonný grafitový susceptor na tvorbu epitaxnej vrstvy na polovodičových doštičkách, Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor je vynikajúcou voľbou. Jeho povlak z karbidu kremíka poskytuje vynikajúcu distribúciu tepla a tepelnú vodivosť, čím zaisťuje výnimočný výkon aj v tých najnáročnejších prostrediach s vysokou teplotou.

V spoločnosti Semicorex sa zameriavame na poskytovanie vysokokvalitných, nákladovo efektívnych susceptorov pre reaktory s karbidovým povlakom, uprednostňujeme spokojnosť zákazníkov a poskytujeme nákladovo efektívne riešenia. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom, ktorý bude poskytovať vysokokvalitné produkty a výnimočné služby zákazníkom.

Parametre susceptora v sude reaktora potiahnutého karbidom

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Density	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300

Vlastnosti susceptora reaktora potiahnutého karbidom

- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú dobrú hustotu a môžu hrať dobrú ochrannú úlohu vo vysokoteplotných a korozívnych pracovných prostrediach.

- Susceptor potiahnutý karbidom kremíka používaný na rast monokryštálov má veľmi vysokú rovinnosť povrchu.

- Znížte rozdiel v koeficiente tepelnej rozťažnosti medzi grafitovým substrátom a vrstvou karbidu kremíka, účinne zlepšite pevnosť spojenia, aby sa zabránilo praskaniu a delaminácii.

- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú vysokú tepelnú vodivosť a vynikajúce vlastnosti rozvádzania tepla.

- Vysoká teplota topenia, odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote, odolnosť proti korózii.