Hlaveň epitaxného reaktora potiahnutá SiC

Semicorex SiC Coated Epitaxial Reactor Barrel je grafitový produkt najvyššej kvality potiahnutý vysoko čistým SiC. Jeho vynikajúca hustota a tepelná vodivosť z neho robí ideálnu voľbu pre použitie v procesoch LPE, pričom poskytuje výnimočnú distribúciu tepla a ochranu v korozívnych a vysokoteplotných prostrediach.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Pokiaľ ide o výrobu polovodičov, hlaveň epitaxného reaktora s povlakom Semicorex SiC je tou správnou voľbou pre vynikajúci výkon a výnimočnú distribúciu tepla. Tento grafitový produkt potiahnutý vysoko čistým SiC poskytuje vynikajúcu odolnosť proti korózii a teplu, čím zaisťuje vždy spoľahlivé a konzistentné výsledky.

V Semicorex sa zameriavame na poskytovanie vysokokvalitných a cenovo výhodných produktov našim zákazníkom. Naša nádoba na epitaxný reaktor s povlakom SiC má cenovú výhodu a vyváža sa na mnohé európske a americké trhy. Naším cieľom je byť vaším dlhodobým partnerom, ktorý poskytuje produkty konzistentnej kvality a výnimočné služby zákazníkom.

Parametre suda epitaxného reaktora potiahnutého SiC

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300

Vlastnosti valca epitaxného reaktora potiahnutého SiC

- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú dobrú hustotu a môžu hrať dobrú ochrannú úlohu vo vysokoteplotných a korozívnych pracovných prostrediach.

- Susceptor potiahnutý karbidom kremíka používaný na rast monokryštálov má veľmi vysokú rovinnosť povrchu.

- Znížte rozdiel v koeficiente tepelnej rozťažnosti medzi grafitovým substrátom a vrstvou karbidu kremíka, účinne zlepšite pevnosť spojenia, aby sa zabránilo praskaniu a delaminácii.

- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú vysokú tepelnú vodivosť a vynikajúce vlastnosti rozvádzania tepla.

- Vysoká teplota topenia, odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote, odolnosť proti korózii.