Keramický koncový efektor

Semicorex je váš partner pre pokročilé grafitové komponenty a zostavy na podporu vyššej priepustnosti a lepších výnosov vo vašom zariadení na spracovanie polovodičov. Naši odborníci na materiály sú pripravení spolupracovať s vami na vývoji optimálneho správneho riešenia pre vaše požiadavky na manipuláciu, ohrev a spracovanie plátkov. Náš keramický koncový efektor má dobrú cenovú výhodu a pokrýva mnohé európske a americké trhy. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Ceramic End Effector je ruka robota, ktorá presúva polovodičové doštičky medzi polohami v zariadení na spracovanie doštičiek a nosičmi. Koncový efektor musí byť rozmerovo presný a tepelne stabilný, pričom musí mať hladký povrch odolný voči oderu, aby bolo možné bezpečne manipulovať s plátkami bez poškodenia zariadenia alebo vytvárania kontaminácie časticami. Náš keramický koncový efektor z karbidu kremíka s vysokou čistotou poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy a trvácnu chemickú odolnosť.

V spoločnosti Semicorex sa zameriavame na poskytovanie vysokokvalitných, nákladovo efektívnych keramických koncových efektorov, uprednostňujeme spokojnosť zákazníkov a poskytujeme nákladovo efektívne riešenia. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom, ktorý bude poskytovať vysokokvalitné produkty a výnimočné služby zákazníkom.

Parametre keramického koncového efektora

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300