Kryt komory z karbidu kremíka

Veko komory z karbidu kremíka používané pri raste kryštálov a spracovaní doštičiek musí vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie. Semicorex je veľký výrobca a dodávateľ grafitových susceptorov potiahnutých karbidom kremíka v Číne. Naše produkty majú dobrú cenovú výhodu a pokrývajú mnohé z európskych a amerických trhov. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Veko komory z karbidu kremíka používané pri raste monokryštálov alebo MOCVD alebo spracovaní doštičiek musí vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie. Semicorex dodáva grafitovú konštrukciu potiahnutú vysoko čistým karbidom kremíka (SiC), ktorý poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy a trvácnu chemickú odolnosť. Sú odolné, aby zažili kombináciu prchavých prekurzorových plynov, plazmy a vysokej teploty.
Naše veko komory z karbidu kremíka je navrhnuté tak, aby sa dosiahol najlepší laminárny vzor prúdenia plynu a zabezpečila sa rovnomernosť tepelného profilu. To pomáha predchádzať akejkoľvek kontaminácii alebo difúzii nečistôt a zabezpečuje vysokokvalitný epitaxiálny rast na doštičkovom čipe.
Kontaktujte nás ešte dnes a dozviete sa viac o našom kryte komory z karbidu kremíka.

Parametre veka komory z karbidu kremíka

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300