Ohrievač plátkov s povlakom SiC

Semicorex je popredným nezávislým výrobcom grafitu s povlakom karbidu kremíka, presne obrábaného grafitu vysokej čistoty so zameraním na grafit s povlakom karbidu kremíka, keramiku z karbidu kremíka, MOCVP v oblasti výroby polovodičov. Náš ohrievač oblátok s povlakom SiC má dobrú cenovú výhodu a pokrýva mnohé európske a americké trhy. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Semicorex SiC Coated Wafer Heater môže pracovať vo vysokoteplotnej peci s viac ako 3000 °C v inertnej atmosfére, 2200 °C vo vákuu. Vysoko čistý ohrievač doštičiek s povlakom SiC poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy a trvácnu chemickú odolnosť. Jemný kryštálový povlak SiC poskytuje čistý, hladký povrch, ktorý je rozhodujúci pre manipuláciu, pretože nedotknuté doštičky sú v kontakte so susceptorom na mnohých miestach po celej svojej ploche.
V spoločnosti Semicorex sa zameriavame na poskytovanie vysokokvalitného, nákladovo efektívneho ohrievača doštičiek s povlakom SiC, uprednostňujeme spokojnosť zákazníkov a poskytujeme nákladovo efektívne riešenia. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom, ktorý bude poskytovať vysokokvalitné produkty a výnimočné služby zákazníkom.

Parametre ohrievača plátkov s povlakom SiC

Technická špecifikácia	VET-M3
Objemová hustota (g/cm3)	≥1,85
Obsah popola (PPM)	≤ 500
Tvrdosť Shore	≥45
Špecifický odpor (μ.Ω.m)	≤12
Pevnosť v ohybe (Mpa)	≥40
Pevnosť v tlaku (Mpa)	≥70
Max. Veľkosť zrna (μm)	≤43
Koeficient tepelnej rozťažnosti Mm/°C	≤4,4*10-6

Vlastnosti ohrievača plátkov s povlakom SiC

- Vysoko čistý grafit potiahnutý SiC
- Vynikajúca tepelná odolnosť a tepelná rovnomernosť
- Jemný kryštál SiC potiahnutý pre hladký povrch
- Vysoká odolnosť proti chemickému čisteniu
- Materiál je navrhnutý tak, aby nedochádzalo k prasklinám a delaminácii.