Semicorex Diffusion Furnace Tube je kľúčovým komponentom v rámci zariadenia na výrobu polovodičov, špeciálne navrhnutý na uľahčenie presných a riadených reakcií nevyhnutných pre procesy výroby polovodičov. Ako primárna nádoba v reakčnej zóne polovodičovej pece hrá rúrka difúznej pece kľúčovú úlohu pri zabezpečovaní integrity a kvality vyrábaných polovodičových zariadení. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Rúrka difúznej pece je zvyčajne vyrobená z vysoko čistého kremeňa alebo SiC, pričom obe vykazujú výnimočnú tepelnú stabilitu a odolnosť voči chemickým reakciám. Je to dôležité, pretože rúrka difúznej pece nesmie vnášať nečistoty do spracovávaných polovodičových materiálov. Dokonca aj tie najmenšie nečistoty môžu mať významný škodlivý vplyv na výkon a spoľahlivosť vyrobených polovodičových zariadení.
Materiály použité pri konštrukcii rúry difúznej pece sú zvolené pre ich vysokú čistotu, aby sa zabránilo kontaminácii polovodičových doštičiek počas spracovania. Rúrka difúznej pece odoláva extrémnym teplotám, s ktorými sa stretávame počas spracovania polovodičov, bez deformácie alebo ohrozenia jej štrukturálnej integrity. To zaisťuje konzistentný a spoľahlivý výkon počas dlhšej doby prevádzky. Okrem tepelnej stability rúra difúznej pece tiež vykazuje odolnosť voči korozívnym účinkom chemikálií a plynov používaných pri spracovaní polovodičov. To zabraňuje degradácii trubice v priebehu času a zabezpečuje jej dlhú životnosť.
Niektoré rúry difúznej pece môžu obsahovať vložky vyrobené zo špecializovaných materiálov na ďalšie zvýšenie ich výkonu alebo na poskytnutie dodatočnej ochrany pred kontamináciou alebo chemickými reakciami. Tieto vložky sú starostlivo vybrané tak, aby dopĺňali vlastnosti materiálu rúrky a špecifické požiadavky procesu výroby polovodičov.