Odolný sudový susceptor potiahnutý SiC

Vďaka svojej vynikajúcej hustote a tepelnej vodivosti je Semicorex Durable SiC-Coated Barrel Susceptor ideálnou voľbou pre použitie v epitaxných procesoch a iných aplikáciách výroby polovodičov. Jeho vysoko čistý SiC povlak poskytuje vynikajúcu ochranu a vlastnosti distribúcie tepla, vďaka čomu je tou najlepšou voľbou pre spoľahlivé a konzistentné výsledky.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Ak potrebujete vysokokvalitný grafitový susceptor s vynikajúcou odolnosťou voči teplu a korózii, nehľadajte nič iné ako Semicorex Durable SiC-Coated Barrel Susceptor. Jeho povlak z karbidu kremíka poskytuje výnimočnú tepelnú vodivosť a distribúciu tepla, čím zaisťuje spoľahlivý a konzistentný výkon aj v tých najnáročnejších prostrediach s vysokou teplotou.
Náš odolný susceptor suda potiahnutý SiC je navrhnutý tak, aby dosiahol najlepší laminárny vzor prúdenia plynu a zabezpečil rovnomernosť tepelného profilu. To pomáha predchádzať akejkoľvek kontaminácii alebo difúzii nečistôt a zabezpečuje vysokokvalitný epitaxiálny rast na doštičkovom čipe.
Kontaktujte nás ešte dnes a dozviete sa viac o našom odolnom sudovom susceptore potiahnutom SiC.

Parametre odolného sudového susceptora potiahnutého SiC

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300

Vlastnosti odolného sudového susceptora potiahnutého SiC

- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú dobrú hustotu a môžu hrať dobrú ochrannú úlohu vo vysokoteplotných a korozívnych pracovných prostrediach.

- Susceptor potiahnutý karbidom kremíka používaný na rast monokryštálov má veľmi vysokú rovinnosť povrchu.

- Znížte rozdiel v koeficiente tepelnej rozťažnosti medzi grafitovým substrátom a vrstvou karbidu kremíka, účinne zlepšite pevnosť spojenia, aby sa zabránilo praskaniu a delaminácii.

- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú vysokú tepelnú vodivosť a vynikajúce vlastnosti rozvádzania tepla.

- Vysoká teplota topenia, odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote, odolnosť proti korózii.