Vysokoteplotný sudový susceptor potiahnutý SiC

Pokiaľ ide o výrobu polovodičov, Semicorex High-Temperature SiC-Coated Barrel Susceptor je najlepšou voľbou pre vynikajúci výkon a spoľahlivosť. Jeho vysokokvalitný SiC povlak a výnimočná tepelná vodivosť ho predurčujú na použitie aj v tých najnáročnejších vysokoteplotných a korozívnych prostrediach.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Vysokoteplotný sudový susceptor s povlakom SiC Semicorex je ideálnou voľbou pre rast monokryštálov a iné aplikácie výroby polovodičov, ktoré vyžadujú vysokú odolnosť voči teplu a korózii. Jeho povlak z karbidu kremíka poskytuje vynikajúcu ochranu a vlastnosti distribúcie tepla, čím zaisťuje spoľahlivý a konzistentný výkon aj v tých najnáročnejších prostrediach.

V spoločnosti Semicorex sa zameriavame na poskytovanie vysokokvalitných, nákladovo efektívnych vysokoteplotných susceptorov potiahnutých SiC, uprednostňujeme spokojnosť zákazníkov a poskytujeme nákladovo efektívne riešenia. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom, ktorý bude poskytovať vysokokvalitné produkty a výnimočné služby zákazníkom.

Parametre vysokoteplotného sudového susceptora potiahnutého SiC

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300

Vlastnosti vysokoteplotného sudového susceptora potiahnutého SiC

- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú dobrú hustotu a môžu hrať dobrú ochrannú úlohu vo vysokoteplotných a korozívnych pracovných prostrediach.

- Susceptor potiahnutý karbidom kremíka používaný na rast monokryštálov má veľmi vysokú rovinnosť povrchu.

- Znížte rozdiel v koeficiente tepelnej rozťažnosti medzi grafitovým substrátom a vrstvou karbidu kremíka, účinne zlepšite pevnosť spojenia, aby sa zabránilo praskaniu a delaminácii.

- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú vysokú tepelnú vodivosť a vynikajúce vlastnosti rozloženia tepla.

- Vysoká teplota topenia, odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote, odolnosť proti korózii.