Epitaxný susceptor monokryštalického kremíka

Perfektný pre grafitovú epitaxiu a proces manipulácie s plátkami, Semicorex ultračistý monokryštalický silikónový epitaxný susceptor zaisťuje minimálnu kontamináciu a poskytuje výnimočne dlhú životnosť. Naše produkty majú dobrú cenovú výhodu a pokrývajú mnohé z európskych a amerických trhov. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Semicorex Monocrystalline Silicon Epitaxial Susceptor je grafitový produkt potiahnutý vysoko čisteným SiC, ktorý má vysokú tepelnú a koróznu odolnosť. CVD nosič potiahnutý karbidom kremíka používaný v procesoch, ktoré tvoria epitaxnú vrstvu na polovodičových doštičkách, ktorý má vysokú tepelnú vodivosť a vynikajúce vlastnosti distribúcie tepla.
Náš epitaxný susceptor z monokryštalického kremíka je navrhnutý tak, aby sa dosiahol najlepší laminárny vzor prúdenia plynu a zabezpečila sa rovnomernosť tepelného profilu. To pomáha predchádzať akejkoľvek kontaminácii alebo difúzii nečistôt a zabezpečuje vysokokvalitný epitaxiálny rast na doštičkovom čipe.
Kontaktujte nás ešte dnes a dozviete sa viac o našom epitaxnom susceptore monokryštalického kremíka.

Parametre epitaxného susceptora monokryštalického kremíka

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300

Vlastnosti epitaxného susceptora monokryštalického kremíka

- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú dobrú hustotu a môžu hrať dobrú ochrannú úlohu vo vysokoteplotných a korozívnych pracovných prostrediach.
- Susceptor potiahnutý karbidom kremíka používaný na rast monokryštálov má veľmi vysokú rovinnosť povrchu.
- Znížte rozdiel v koeficiente tepelnej rozťažnosti medzi grafitovým substrátom a vrstvou karbidu kremíka, účinne zlepšite pevnosť spojenia, aby sa zabránilo praskaniu a delaminácii.
- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú vysokú tepelnú vodivosť a vynikajúce vlastnosti rozloženia tepla.
- Vysoká teplota topenia, odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote, odolnosť proti korózii.