Monokryštálový kremíkový epi susceptor

Jednokryštálový kremíkový epi susceptor je základná súčasť navrhnutá pre procesy epitaxie Si-GaN, ktorú je možné prispôsobiť individuálnym špecifikáciám a preferenciám a poskytuje tak riešenie na mieru, ktoré sa dokonale zhoduje so špecifickými požiadavkami. Či už to znamená úpravy rozmerov alebo úpravy hrúbky povlaku, máme schopnosť navrhnúť a dodať produkt, ktorý vyhovuje rôznym procesným parametrom, čím optimalizuje výkon pre cielené aplikácie. Záväzok spoločnosti Semicorex poskytovať špičkovú kvalitu na trhu v spojení s konkurenčnými fiškálnymi úvahami posilňuje našu horlivosť nadviazať partnerstvá pri plnení požiadaviek na prepravu vašich polovodičových plátkov.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Susceptory pri spracovaní epitaxného rastu vyžadujú schopnosť odolávať zvýšeným teplotám a vydržať prísne chemické čistiace postupy. Jednokryštálový kremíkový epi susceptor bol starostlivo navrhnutý tak, aby zodpovedal týmto náročným požiadavkám, ktoré sa vyskytujú v aplikáciách epitaxných zariadení.

Tieto susceptory sa môžu pochváliť konštrukciou obsahujúcou grafit potiahnutý vysoko čistým karbidom kremíka (SiC), ktorý poskytuje bezkonkurenčnú odolnosť voči teplu a zabezpečuje rovnomerné rozloženie tepla pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epitaxnej vrstvy.

Okrem toho monokryštálový silikónový epi susceptor vykazuje pozoruhodnú odolnosť voči drsným chemickým čistiacim prostriedkom. Použitie jemného povlaku z kryštálov SiC ďalej prispieva k nedotknutému, hladkému povrchu, ktorý má prvoradý význam pre efektívnu manipuláciu, pretože nepoškvrnené plátky prichádzajú do kontaktu so susceptorom na mnohých miestach po celej svojej ploche.

Použitie monokryštálového kremíkového epi susceptora zaisťuje neochvejnú spoľahlivosť a predĺženú životnosť, čím sa znižuje potreba častých výmen a následne sa minimalizujú prestoje a náklady na údržbu. Jeho robustná konštrukcia a výnimočné prevádzkové schopnosti výrazne prispievajú k zvýšenej efektivite procesu a v konečnom dôsledku zvyšujú produktivitu a nákladovú efektívnosť v oblasti operácií výroby polovodičov.