Susceptor monokryštalického kremíka

Susceptor monokryštalického kremíka Semicorex je ideálnym riešením pre grafitovú epitaxiu a procesy manipulácie s plátkami. Náš ultračistý produkt zaisťuje minimálnu kontamináciu a výnimočnú dlhú životnosť, vďaka čomu je obľúbenou voľbou na mnohých európskych a amerických trhoch. Ako popredný poskytovateľ nosičov polovodičových doštičiek v Číne sa tešíme, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Náš epitaxný susceptor monokryštalického kremíka je grafitový produkt potiahnutý vysoko čistým SiC, ktorý má vysokú tepelnú odolnosť a odolnosť proti korózii. CVD nosič potiahnutý karbidom kremíka sa používa v procesoch, ktoré tvoria epitaxnú vrstvu na polovodičových doštičkách. Má vysokú tepelnú vodivosť a vynikajúce vlastnosti distribúcie tepla, ktoré sú nevyhnutné pre efektívne a presné výrobné procesy polovodičov.
Jednou z kľúčových vlastností nášho monokryštalického kremíkového susceptora je jeho vynikajúca hustota. Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú dobrú hustotu a môžu hrať dobrú ochrannú úlohu vo vysokoteplotných a korozívnych pracovných prostrediach. Susceptor potiahnutý karbidom kremíka používaný na rast monokryštálov má veľmi vysokú rovinnosť povrchu, ktorá je nevyhnutná pre udržanie vysoko kvalitnej výroby doštičiek.
Ďalšou dôležitou vlastnosťou nášho produktu je jeho schopnosť znižovať rozdiel v koeficiente tepelnej rozťažnosti medzi grafitovým substrátom a vrstvou karbidu kremíka. To účinne zlepšuje pevnosť spoja, zabraňuje praskaniu a delaminácii. Okrem toho, ako grafitový substrát, tak vrstva karbidu kremíka majú vysokú tepelnú vodivosť a vynikajúce vlastnosti distribúcie tepla, čo zaisťuje rovnomerné rozloženie tepla počas výrobného procesu.
Náš monokryštalický kremíkový susceptor je tiež odolný voči vysokoteplotnej oxidácii a korózii, čo z neho robí spoľahlivý a odolný produkt. Jeho vysoký bod topenia zaisťuje, že dokáže odolávať vysokoteplotnému prostrediu potrebnému na efektívnu výrobu polovodičov.
Na záver, Semicorex monokryštalický kremíkový plátkový susceptor je ultračisté, odolné a spoľahlivé riešenie pre grafitovú epitaxiu a procesy manipulácie s plátkami. Jeho vynikajúca hustota, rovinnosť povrchu a tepelná vodivosť ho predurčujú na použitie vo vysokoteplotnom a korozívnom prostredí. Sme hrdí na to, že poskytujeme vysokokvalitné produkty za konkurencieschopné ceny a tešíme sa na partnerstvo s vami pre všetky vaše potreby nosičov polovodičových doštičiek.

Parametre susceptora monokryštalického kremíka

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300

Vlastnosti monokryštalického kremíkového susceptora

- Zabráňte odlupovaniu a zabezpečte povlak na celom povrchu
Odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote: Stabilná pri vysokých teplotách až do 1600 °C
Vysoká čistota: vyrobené chemickým nanášaním pár CVD za podmienok chlorácie pri vysokej teplote.
Odolnosť proti korózii: vysoká tvrdosť, hustý povrch a jemné častice.
Odolnosť proti korózii: kyselinám, zásadám, soliam a organickým činidlám.
- Dosiahnite najlepší vzor laminárneho prúdenia plynu
- Zaručiť rovnomernosť tepelného profilu
- Zabráňte šíreniu akejkoľvek kontaminácie alebo nečistôt