Elektrostatické skľučovadlo vykonáva viacero funkcií, ako je rovnomerný elektrostatický výboj, vedenie tepla a adsorpcia a fixácia plátkov v oblasti výroby polovodičov. Jednou z hlavných funkcií ESC je stabilná adsorbcia plátkov v extrémnych prevádzkových podmienkach, ako je vysoké vákuum, silná pla......
Čítaj viacPri výrobe doštičiek s ultra vysokou čistotou musia doštičky dosiahnuť štandard čistoty nad 99,999999999 %, aby sa zabezpečili základné vlastnosti polovodičov. Paradoxne, aby sa dosiahla funkčná konštrukcia integrovaných obvodov, musia byť špecifické nečistoty zavedené lokálne na povrch doštičiek pr......
Čítaj viacKeramické vákuové skľučovadlá sú vyrobené z poréznych keramických materiálov s rovnomerným rozložením veľkosti pórov a vnútorným prepojením. Po brúsení je povrch hladký a jemný s dobrou rovinnosťou. Široko sa používajú pri výrobe polovodičových doštičiek, ako je kremík, zafír a arzenid gália.
Čítaj viacVýber doštičiek má významný vplyv na vývoj a výrobu polovodičových zariadení. Výber plátku by sa mal riadiť požiadavkami konkrétnych aplikačných scenárov a mal by sa starostlivo vyhodnotiť pomocou nasledujúcich kľúčových metrík.
Čítaj viacZariadenie na suché leptanie nepoužíva na leptanie žiadne mokré chemikálie. Primárne zavádza plynné leptadlo do komory cez hornú elektródu s malými priechodnými otvormi. Elektrické pole generované hornou a dolnou elektródou ionizuje plynné leptadlo, ktoré potom reaguje s materiálom, ktorý sa má lept......
Čítaj viac