Výroba polovodičov, základný kameň moderného technologického pokroku, neustále hľadá menšie, rýchlejšie a efektívnejšie integrované obvody. Táto neúnavná snaha vedie k potrebe čoraz presnejších a sofistikovanejších výrobných procesov, kde sa každý krok vo veľkej miere spolieha na vysokovýkonné, vyso......
Čítaj viacElektrostatické skľučovadlá (ESC) sa stali nenahraditeľnými pri výrobe polovodičov a plochých displejov, ktoré ponúkajú vysoko kontrolovateľný spôsob držania a umiestňovania jemných doštičiek a substrátov počas kritických krokov spracovania. Tento článok sa ponorí do zložitosti technológie ESC, skúm......
Čítaj viacVývoj 3C-SiC, významného polytypu karbidu kremíka, odráža neustály pokrok vedy o polovodičových materiáloch. V 80. rokoch Nishino a spol. prvýkrát dosiahol 4 μm hrubý 3C-SiC film na silikónovom substráte pomocou chemického naparovania (CVD)[1], čím sa položil základ pre technológiu tenkých vrstiev 3......
Čítaj viac