Sudový susceptor potiahnutý SiC

Vďaka vysokej teplote topenia, odolnosti voči oxidácii a korózii je Susceptor suda s povlakom Semicorex SiC dokonalou voľbou na použitie v aplikáciách na rast monokryštálov. Jeho povlak z karbidu kremíka poskytuje výnimočnú rovinnosť a vlastnosti distribúcie tepla, čím zaisťuje spoľahlivý a konzistentný výkon aj v tých najnáročnejších prostrediach s vysokou teplotou.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Semicorex SiC-Coated Barrel Susceptor je grafitový produkt najvyššej kvality potiahnutý vysoko čistým SiC, navrhnutý špeciálne pre LPE procesy a iné aplikácie výroby polovodičov. Jeho výnimočná hustota a tepelná vodivosť poskytujú vynikajúcu distribúciu tepla a ochranu vo vysokoteplotnom a korozívnom prostredí.
V spoločnosti Semicorex sa zameriavame na poskytovanie vysokokvalitných, nákladovo efektívnych susceptorov sudov potiahnutých SiC, uprednostňujeme spokojnosť zákazníkov a poskytujeme nákladovo efektívne riešenia. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom, ktorý bude poskytovať vysokokvalitné produkty a výnimočné služby zákazníkom.

Parametre sudového susceptora potiahnutého SiC

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300

Vlastnosti sudového susceptora potiahnutého SiC

- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú dobrú hustotu a môžu hrať dobrú ochrannú úlohu vo vysokoteplotných a korozívnych pracovných prostrediach.

- Susceptor potiahnutý karbidom kremíka používaný na rast monokryštálov má veľmi vysokú rovinnosť povrchu.

- Znížte rozdiel v koeficiente tepelnej rozťažnosti medzi grafitovým substrátom a vrstvou karbidu kremíka, účinne zlepšite pevnosť spojenia, aby sa zabránilo praskaniu a delaminácii.

- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú vysokú tepelnú vodivosť a vynikajúce vlastnosti rozloženia tepla.

- Vysoká teplota topenia, odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote, odolnosť proti korózii.