Susceptor suda potiahnutý SiC pre epitaxiu plátku

Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor pre Wafer Epitaxial je vďaka svojmu výnimočne plochému povrchu a vysokokvalitnému SiC povlaku perfektnou voľbou pre aplikácie na rast monokryštálov. Vďaka vysokému bodu topenia, odolnosti voči oxidácii a korózii je ideálnou voľbou pre použitie vo vysokoteplotnom a korozívnom prostredí.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Hľadáte grafitový susceptor s výnimočným rozložením tepla a tepelnou vodivosťou? Nehľadajte nič iné ako Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor pre Wafer Epitaxial, potiahnutý vysoko čistým SiC pre vynikajúci výkon v epitaxných procesoch a iných aplikáciách výroby polovodičov.
V Semicorex sa zameriavame na poskytovanie vysokokvalitných a cenovo výhodných produktov našim zákazníkom. Náš SiC Coated Barrel Susceptor pre plátkové epitaxné má cenovú výhodu a vyváža sa na mnohé európske a americké trhy. Naším cieľom je byť vaším dlhodobým partnerom, ktorý poskytuje produkty konzistentnej kvality a výnimočné služby zákazníkom.

Parametre sudového susceptora potiahnutého SiC pre epitaxiu plátku

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300

Vlastnosti Susceptora suda s povlakom SiC pre epitaxiu plátku

- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú dobrú hustotu a môžu hrať dobrú ochrannú úlohu vo vysokoteplotných a korozívnych pracovných prostrediach.

- Susceptor potiahnutý karbidom kremíka používaný na rast monokryštálov má veľmi vysokú rovinnosť povrchu.

- Znížte rozdiel v koeficiente tepelnej rozťažnosti medzi grafitovým substrátom a vrstvou karbidu kremíka, účinne zlepšite pevnosť spojenia, aby sa zabránilo praskaniu a delaminácii.

- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú vysokú tepelnú vodivosť a vynikajúce vlastnosti rozloženia tepla.

- Vysoká teplota topenia, odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote, odolnosť proti korózii.