Robotické ruky SIC

Ruky SemiCorex SIC Robot sú najnovšími koncovými efektormi určené pre aplikácie prenosu robotických oblátok v oblasti výroby polovodičov. Vyrábané z vysoko výkonných materiálov sme pripravili tieto robotické ruky keramikou karbidu kremíka (SIC), aby sme zabezpečili maximálnu tepelnú tabutu, chemickú stabilitu a mechanickú pevnosť pre čoraz tvrdšie prostredie výroby alebo manipulácie s oblátkami.

Centrom našich rúk robotov SIC je náš vlastníctvo pokročilýkarbid kremíkaZnámy pre svoju vysokú tvrdosť (MOHS 9), vysoká tepelná vodivosť a odolnosť proti korózii. Na rozdiel od tradičných materiálov, ako je hliník alebo nehrdzavejúca oceľ, je SIC kompatibilný s drsným spracovateľským prostredím polovodičových čistiacich prostriedkov vrátane spracovaných vysokých teplôt a reaktívnych plynov. Ponúkame dlhodobú trvanlivosť a minimalizujeme kontamináciu v súlade s prísnou čistotou potrebnou pre výrobu oblátok.

Polovičkové vybavenie s rukami robotov SIC používajú sacie sanie záporného tlaku na získanie oblátky, t. J. Polovičková oblátka je adsorbovaná na kremennom alebo keramickom prste pomocou princípu sacieho pohára, po ktorom nasleduje preprava pomocou mechanického akčného ramena, ktoré sa rozširujú, rotujúce a zdvíhacie pohyby.

„Vysoká rýchlosť“ a „čistota“ sú základnými charakteristikami vybavenia na manipuláciu s oblátkami polovodičov. Na splnenie týchto charakteristík má zariadenie mimoriadne prísne požiadavky na výkon použitých komponentov. Pretože väčšina procesov sa vykonáva vo vákuovom, vysokom teplote a korozívnom plynovom prostredí, manipulačné rameno používané v zariadení musí mať vynikajúce fyzikálne vlastnosti, ako napríklad: vysoká mechanická pevnosť, odolnosť proti korózii, odpor vysokej teploty, odpor opotrebenia, vysoká tvrdosť, izolácia atď. A pokročilé keramické materiály môžu splniť iba tieto podmienky.

Keramika kremíkaMajte fyzikálne vlastnosti hustej textúry, vysokej tvrdosti, vysokej odolnosti proti opotrebeniu, ako aj dobrú tepelnú odolnosť, vynikajúcu mechanickú pevnosť, dobrú izoláciu v prostredí s vysokou teplotou, dobrú odolnosť proti korózii a iné fyzikálne vlastnosti. Je to vynikajúci materiál na výrobu zbraní na manipuláciu s polovodičom.

Uznanie, že robotické platformy sa líšia v závislosti od výrobcov FABS a výrobcov nástrojov, sú naše ruky SIC robotov k dispozícii v rôznych štandardizovaných veľkostiach a môžu byť prispôsobené pre jedinečné konfigurácie nástrojov. Montážne rozhrania, geometrie prstov a podpora oblátok môžu byť prispôsobené tak, aby vyhovovali konkrétnym potrebám zariadenia a procesov. Či už prenášate doštičky v klastrových nástrojoch, vákuových komorách alebo systémových systémoch, naše robotické ruky sa bez problémov integrujú s poprednými značkami robotiky.

Každá ruka SIC robotov prechádza prísnym postupmi čistenia, kontroly a balenia, aby sa zabezpečila dodržiavanie štandardov čistých miestností triedy 1. Nepórový antistatický povrch SIC znižuje adhéziu častíc, zatiaľ čo robustná štruktúra odoláva mikrofraktúram, ktoré by mohli v priebehu času viesť k tvorbe častíc. Vďaka tomu sú ideálne pre procesy oblátky na front-end, kde aj najmenšia kontaminácia môže viesť k zlyhaniu zariadenia.

Od implantácie epitaxie a iónov po PVD, CVD a CMP sa ruky robotov SIC dôverujú v každom kroku výroby polovodičových zariadení. Vďaka svojej vynikajúcej odolnosti voči tepelným šoku a plazmovým prostredím ich robí nevyhnutnými v pokročilých logických a výkonových polovodičových líniách, najmä ak sa používajú substráty SIC Wafer.