Semicorex je váš partner pre zlepšenie v spracovaní polovodičov. Naše povlaky z karbidu kremíka sú husté, odolné voči vysokým teplotám a chemikáliám, ktoré sa často používajú v celom cykle výroby polovodičov, vrátane spracovania polovodičových doštičiek a doštičiek a výroby polovodičov.
Vysoko čisté keramické komponenty SiC sú rozhodujúce pre procesy v polovodičoch. Naša ponuka siaha od spotrebných dielov pre zariadenia na spracovanie plátkov, ako je napríklad čln z karbidu kremíka, konzolové lopatky, trubice atď. pre epitaxiu alebo MOCVD.
Výhody pre polovodičové procesy
Fázy nanášania tenkých vrstiev, ako je epitaxia alebo MOCVD, alebo spracovanie doštičiek, ako je leptanie alebo iónový implantát, musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie. Semicorex dodáva konštrukciu karbidu kremíka (SiC) s vysokou čistotou, ktorá poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť a trvácnu chemickú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy.
Veká komôr →
Veká komôr používané pri pestovaní kryštálov a spracovaní doštičiek musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie.
Konzolové pádlo →
Konzolová lopatka je kľúčovým komponentom používaným v procesoch výroby polovodičov, najmä v difúznych alebo LPCVD peciach počas procesov ako difúzia a RTP.
Procesná trubica →
Process Tube je kľúčový komponent, špeciálne navrhnutý v rôznych aplikáciách spracovania polovodičov, ako je RTP, difúzia.
Oblátkové člny →
Wafer Boat sa používa pri spracovaní polovodičov a bol starostlivo navrhnutý tak, aby zabezpečil, že jemné doštičky budú počas kritických fáz výroby v bezpečí.
Vstupné krúžky →
Vstupný krúžok plynu potiahnutý SiC zariadením MOCVD Rast zlúčeniny má vysokú tepelnú a koróznu odolnosť, ktorá má veľkú stabilitu v extrémnom prostredí.
Krúžok zaostrenia →
Semicorex dodáva zaostrovací krúžok potiahnutý karbidom kremíka je skutočne stabilný pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie.
Oblátka Chuck →
Ultra ploché keramické vákuové doštičkové skľučovadlá Semicorex sú potiahnuté SiC s vysokou čistotou, ktoré sa používajú v procese manipulácie s plátkami.
Semicorex má tiež keramické výrobky z oxidu hlinitého (Al2O3), nitridu kremíka (Si3N4), nitridu hliníka (AIN), oxidu zirkoničitého (ZrO2), kompozitnej keramiky atď.
Oxidačná trubica SemiCorex SIC je vysokoúčinná zložka používaná v peciach SIC skúmaviek na pokročilé polovodičové tepelné spracovanie. Je navrhnutý pre dlhodobú stabilitu v extrémnych podmienkach. Vyberte si SemiCorex pre našu vynikajúcu čistotu materiálu, tesnú rozmerovú kontrolu a konzistentnú kvalitu produktu, čo vám pomôže dosiahnuť optimálne výsledky v každom vysokoteplomovom behu.*
Čítaj viacOdoslať dopytMontážne dosky Montáže Alumina SemiCorex sú vysoko výkonné keramické zložky určené na presnú manipuláciu s oblátkami vo výrobe polovodičov. Vďaka svojej vynikajúcej pevnosti, izolácii a tepelnej stabilite je ideálna pre náročné prostredia automatizácie čistej miestnosti.*
Čítaj viacOdoslať dopytVákuum karbidu kremíka Semicorex je vysoko výkonný roztok oblátkového manipulácie vytvorený z porézneho karbidu kremíka. Konkrétne je navrhnutá na vákuovú adsorpciu polovodičových doštičiek počas kritických procesov, ako je montáž (vosk), riedenie, def-vosk, čistenie, čistenie a rýchle tepelné žíhanie (RTA). Vyberte Semicorex pre neprekonateľnú čistotu materiálu, rozmerovú presnosť a spoľahlivý výkon v náročných polovodičových prostrediach.*
Čítaj viacOdoslať dopytRameno Semicorex Hlinícko-robotické rameno je vysoko výkonná keramická komponent určená pre presnú manipuláciu s oblátkami vo výrobe polovodičov. Vďaka svojej vynikajúcej pevnosti, izolácii a tepelnej stabilite je ideálna pre náročné prostredia automatizácie čistej miestnosti.*
Čítaj viacOdoslať dopytKeramický efektor keramiky Semicorex Alumina je komponent s presným inžinierstvom špeciálne navrhnutými pre spoľahlivú a bez kontamináciu manipulácie s oblátkami bez kontaminácie vo výrobe polovodičov a súvisiacich aplikáciách.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Porous SIC Chuck je vysokoúčinná keramická vákuová skľučovosť určená pre bezpečnú a rovnomernú adsorpciu doštičiek pri spracovaní polovodičov. Jeho skonštruovaná mikro-celátna štruktúra zaisťuje vynikajúcu distribúciu vákua, vďaka čomu je ideálna pre presné aplikácie.*
Čítaj viacOdoslať dopyt