Semicorex je váš partner pre zlepšenie v spracovaní polovodičov. Naše povlaky z karbidu kremíka sú husté, odolné voči vysokým teplotám a chemikáliám, ktoré sa často používajú v celom cykle výroby polovodičov, vrátane spracovania polovodičových doštičiek a doštičiek a výroby polovodičov.
Vysoko čisté keramické komponenty SiC sú rozhodujúce pre procesy v polovodičoch. Naša ponuka siaha od spotrebných dielov pre zariadenia na spracovanie plátkov, ako je napríklad čln z karbidu kremíka, konzolové lopatky, trubice atď. pre epitaxiu alebo MOCVD.
Výhody pre polovodičové procesy
Fázy nanášania tenkých vrstiev, ako je epitaxia alebo MOCVD, alebo spracovanie doštičiek, ako je leptanie alebo iónový implantát, musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie. Semicorex dodáva konštrukciu karbidu kremíka (SiC) s vysokou čistotou, ktorá poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť a trvácnu chemickú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy.
Veká komôr →
Veká komôr používané pri pestovaní kryštálov a spracovaní doštičiek musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie.
Konzolové pádlo →
Konzolová lopatka je kľúčovým komponentom používaným v procesoch výroby polovodičov, najmä v difúznych alebo LPCVD peciach počas procesov ako difúzia a RTP.
Procesná trubica →
Process Tube je kľúčový komponent, špeciálne navrhnutý v rôznych aplikáciách spracovania polovodičov, ako je RTP, difúzia.
Oblátkové člny →
Wafer Boat sa používa pri spracovaní polovodičov a bol starostlivo navrhnutý tak, aby zabezpečil, že jemné doštičky budú počas kritických fáz výroby v bezpečí.
Vstupné krúžky →
Vstupný krúžok plynu potiahnutý SiC zariadením MOCVD Rast zlúčeniny má vysokú tepelnú a koróznu odolnosť, ktorá má veľkú stabilitu v extrémnom prostredí.
Krúžok zaostrenia →
Semicorex dodáva zaostrovací krúžok potiahnutý karbidom kremíka je skutočne stabilný pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie.
Oblátka Chuck →
Ultra ploché keramické vákuové doštičkové skľučovadlá Semicorex sú potiahnuté SiC s vysokou čistotou, ktoré sa používajú v procese manipulácie s plátkami.
Semicorex má tiež keramické výrobky z oxidu hlinitého (Al2O3), nitridu kremíka (Si3N4), nitridu hliníka (AIN), oxidu zirkoničitého (ZrO2), kompozitnej keramiky atď.
Semicorex Microporous SIC Chuck je vysoko presný vákuový skľučanie určený pre bezpečnú manipuláciu s oblátkami v polovodičových procesoch. Vyberte Semicorex pre naše prispôsobiteľné riešenia, vynikajúci výber materiálu a záväzok presnosti, čím sa zabezpečí optimálny výkon v potrebách spracovania doštičiek.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex porézne keramické skľučovadlo (vákuové skľučovadlo) je vysoko presný nástroj navrhnutý na bezpečné uchytenie doštičiek počas procesov výroby polovodičov. Výberom Semicorex získate výhody z riešenia, ktoré ponúka výnimočný výkon, odolnosť a možnosti prispôsobenia, čím sa zabezpečí zvýšená efektivita výroby a konzistentné štandardy kvality.*
Čítaj viacOdoslať dopytVákuové skľučovadlá Semicorex Alumina sú precízne skonštruované komponenty navrhnuté tak, aby bezpečne držali doštičky alebo substráty počas kritických polovodičových a presných výrobných procesov. Vďaka záväzku spoločnosti Semicorex k vysokokvalitným materiálom a špičkovým výrobným technikám poskytujú naše hliníkové vákuové skľučovadlá bezkonkurenčnú spoľahlivosť, presnosť a výkon pre vaše najnáročnejšie aplikácie.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Vacuum Chuck je vysoko výkonný komponent navrhnutý pre bezpečnú a presnú manipuláciu s plátkami pri výrobe polovodičov. Vyberte si Semicorex pre naše pokročilé, trvanlivé a kontaminácii odolné riešenia, ktoré zaisťujú optimálny výkon aj v tých najnáročnejších procesoch.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Silicon Carbide Sleeve sa bežne používa ako vložka odolná voči opotrebovaniu a korózii pre zariadenia, ako sú valce, čerpadlá, ventily, klzné ložiská a bubny brúsok.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Alumina Insulation Ring sa používa ako izolátor v rôznych elektrických komponentoch, jeho vynikajúce elektrické izolačné vlastnosti zaisťujú spoľahlivý výkon v aplikáciách, kde je nevyhnutné zabrániť elektrickému vedeniu.
Čítaj viacOdoslať dopyt