Semicorex je váš partner pre zlepšenie v spracovaní polovodičov. Naše povlaky z karbidu kremíka sú husté, odolné voči vysokým teplotám a chemikáliám, ktoré sa často používajú v celom cykle výroby polovodičov, vrátane spracovania polovodičových doštičiek a doštičiek a výroby polovodičov.
Vysoko čisté keramické komponenty SiC sú rozhodujúce pre procesy v polovodičoch. Naša ponuka siaha od spotrebných dielov pre zariadenia na spracovanie plátkov, ako je napríklad čln z karbidu kremíka, konzolové lopatky, trubice atď. pre epitaxiu alebo MOCVD.
Výhody pre polovodičové procesy
Fázy nanášania tenkých vrstiev, ako je epitaxia alebo MOCVD, alebo spracovanie doštičiek, ako je leptanie alebo iónový implantát, musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie. Semicorex dodáva konštrukciu karbidu kremíka (SiC) s vysokou čistotou, ktorá poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť a trvácnu chemickú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy.
Veká komôr →
Veká komôr používané pri pestovaní kryštálov a spracovaní doštičiek musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie.
Konzolové pádlo →
Konzolová lopatka je kľúčovým komponentom používaným v procesoch výroby polovodičov, najmä v difúznych alebo LPCVD peciach počas procesov ako difúzia a RTP.
Procesná trubica →
Process Tube je kľúčový komponent, špeciálne navrhnutý v rôznych aplikáciách spracovania polovodičov, ako je RTP, difúzia.
Oblátkové člny →
Wafer Boat sa používa pri spracovaní polovodičov a bol starostlivo navrhnutý tak, aby zabezpečil, že jemné doštičky budú počas kritických fáz výroby v bezpečí.
Vstupné krúžky →
Vstupný krúžok plynu potiahnutý SiC zariadením MOCVD Rast zlúčeniny má vysokú tepelnú a koróznu odolnosť, ktorá má veľkú stabilitu v extrémnom prostredí.
Krúžok zaostrenia →
Semicorex dodáva zaostrovací krúžok potiahnutý karbidom kremíka je skutočne stabilný pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie.
Oblátka Chuck →
Ultra ploché keramické vákuové doštičkové skľučovadlá Semicorex sú potiahnuté SiC s vysokou čistotou, ktoré sa používajú v procese manipulácie s plátkami.
Semicorex má tiež keramické výrobky z oxidu hlinitého (Al2O3), nitridu kremíka (Si3N4), nitridu hliníka (AIN), oxidu zirkoničitého (ZrO2), kompozitnej keramiky atď.
Semicorex Silicon Carbide Liner je všestranný a robustný materiál, ktorý slúži ako neoceniteľný prínos pri optimalizácii účinnosti a životnosti zariadení na priemyselné spracovanie.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex SiC Steering Mirror je pozoruhodný materiál, ktorý kombinuje odolnosť, odolnosť a výnimočný optický výkon, vďaka čomu je nenahraditeľný v pokročilých optických systémoch v rôznych high-tech odvetviach.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Black Zirconia Ring je vysoko výkonný komponent, ktorý ponúka jedinečnú zmes mechanickej pevnosti, tvrdosti a odolnosti voči tepelným a chemickým výzvam pri tesnení a izolácii pri obrábaní a metalurgických procesoch.
Čítaj viacOdoslať dopytAplikácia Semicorex Alumina Wafer Polishing Carrier v rôznych priemyselných odvetviach, od polovodičov po fotovoltaiku, hrá kľúčovú úlohu v procesoch brúsenia a chemicko-mechanického leštenia (CMP) doštičiek.
Čítaj viacOdoslať dopytVentil z karbidu kremíka Semicorex je dôležitou súčasťou v rôznych priemyselných aplikáciách a ponúka bezkonkurenčnú odolnosť proti korózii, teplotnú odolnosť a mechanickú odolnosť. Je vhodný pre priemyselné odvetvia od petrochemického až po biofarmaceutický, pričom zabezpečuje efektívnu a spoľahlivú prevádzku aj v tých najnáročnejších prostrediach.
Čítaj viacOdoslať dopytElektrostatické skľučovadlo PBN od spoločnosti Semicorex vyniká v oblasti spracovania plátkov pri výrobe polovodičov vďaka svojim jedinečným materiálovým vlastnostiam.
Čítaj viacOdoslať dopyt