Semicorex je váš partner pre zlepšenie v spracovaní polovodičov. Naše povlaky z karbidu kremíka sú husté, odolné voči vysokým teplotám a chemikáliám, ktoré sa často používajú v celom cykle výroby polovodičov, vrátane spracovania polovodičových doštičiek a doštičiek a výroby polovodičov.
Vysoko čisté keramické komponenty SiC sú rozhodujúce pre procesy v polovodičoch. Naša ponuka siaha od spotrebných dielov pre zariadenia na spracovanie plátkov, ako je napríklad čln z karbidu kremíka, konzolové lopatky, trubice atď. pre epitaxiu alebo MOCVD.
Výhody pre polovodičové procesy
Fázy nanášania tenkých vrstiev, ako je epitaxia alebo MOCVD, alebo spracovanie doštičiek, ako je leptanie alebo iónový implantát, musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie. Semicorex dodáva konštrukciu karbidu kremíka (SiC) s vysokou čistotou, ktorá poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť a trvácnu chemickú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy.
Veká komôr →
Veká komôr používané pri pestovaní kryštálov a spracovaní doštičiek musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie.
Konzolové pádlo →
Konzolová lopatka je kľúčovým komponentom používaným v procesoch výroby polovodičov, najmä v difúznych alebo LPCVD peciach počas procesov ako difúzia a RTP.
Procesná trubica →
Process Tube je kľúčový komponent, špeciálne navrhnutý v rôznych aplikáciách spracovania polovodičov, ako je RTP, difúzia.
Oblátkové člny →
Wafer Boat sa používa pri spracovaní polovodičov a bol starostlivo navrhnutý tak, aby zabezpečil, že jemné doštičky budú počas kritických fáz výroby v bezpečí.
Vstupné krúžky →
Vstupný krúžok plynu potiahnutý SiC zariadením MOCVD Rast zlúčeniny má vysokú tepelnú a koróznu odolnosť, ktorá má veľkú stabilitu v extrémnom prostredí.
Krúžok zaostrenia →
Semicorex dodáva zaostrovací krúžok potiahnutý karbidom kremíka je skutočne stabilný pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie.
Oblátka Chuck →
Ultra ploché keramické vákuové doštičkové skľučovadlá Semicorex sú potiahnuté SiC s vysokou čistotou, ktoré sa používajú v procese manipulácie s plátkami.
Semicorex má tiež keramické výrobky z oxidu hlinitého (Al2O3), nitridu kremíka (Si3N4), nitridu hliníka (AIN), oxidu zirkoničitého (ZrO2), kompozitnej keramiky atď.
Plochá membrána karbidu kremíka Semicorex je vysoko výkonný keramický filtračný roztok známy pre jeho výnimočnú chemickú rezistenciu, tepelnú stabilitu a vynikajúcu filtráciu. Výber SemiCorex znamená zvoliť sa pre technológiu vedúceho priemyslu podporovaných špičkovými výrobnými procesmi a záväzkom poskytovať spoľahlivé a nákladovo efektívne riešenia, ktoré zodpovedajú najťažším výzvam filtrácie.*
Čítaj viacOdoslať dopytKompozitná membrána kremíka Semicorex je pokročilý filtračný roztok, ktorý kombinuje vynikajúce vlastnosti karbidu kremíka, hlinitého a oxidu vápenatého na dodávku vysoko výkonnej filtrácie v širokom rozsahu priemyselných odvetví. SemiCorex je dôveryhodnou voľbou pre túto špičkovú technológiu, ktorá ponúka neprekonateľnú kvalitu, spoľahlivosť a riešenia prispôsobené na mieru, ktoré zabezpečujú optimálnu efektívnosť a dlhodobý výkon pre vaše potreby filtrácie.*
Čítaj viacOdoslať dopytMembrána kremíka Semicorex je pokročilé filtračné roztoky, ktoré ponúkajú vynikajúcu chemickú, tepelnú a mechanickú rezistenciu, ideálnu pre náročné priemyselné aplikácie. Vyberte si Semicorex pre naše vysoko kvalitné, odolné membrány, ktoré poskytujú dlhodobý výkon, účinnosť a spoľahlivosť, zabezpečujú optimálne výsledky v každom procese filtrácie.*
Čítaj viacOdoslať dopytMembrána SemiCorex je vysoko výkonné keramické filtračné riešenie vyrobené z vysoko čistoty karbidu kremíka určené pre náročné aplikácie priemyselnej filtrácie. Vyberte Semicorex pre spoľahlivé, odolné a efektívne membrány SIC, ktoré poskytujú výnimočný výkon a dlhodobú hodnotu v tých najnáročnejších prostrediach.*
Čítaj viacOdoslať dopytVákuové skľučovky Semicorex sú ideálnym riešením pre manipuláciu s oblátkami v polovodičových a presných odvetviach. Vďaka rôznym možnostiam základného materiálu, prispôsobeniam keramických tanierov a presným riadením rovinnosti naše vákuové skľučovky zaisťujú spoľahlivú stabilitu oblátkov a vynikajúce výsledky procesu. Tieto skľučovky, ktoré sú navrhnuté tak, aby vyhovovali prísnym požiadavkám modernej výroby polovodičov, dodávajú jedinečný výkon, čím sa zabezpečujú, že vaše procesy zostanú efektívne a nákladovo efektívne.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Porous SIC vákuum Chuck je navrhnutý pre presnú a spoľahlivú manipuláciu s oblátkami, ktoré ponúka prispôsobiteľné materiálne možnosti, ktoré vyhovujú širokej škále potrieb spracovania polovodičov. Vyberte si SemiCorex pre svoj záväzok k vysoko kvalitným a trvanlivým riešeniam, ktoré prinášajú optimálny výkon a efektívnosť v každej aplikácii.*
Čítaj viacOdoslať dopyt