Grafitová hlaveň potiahnutá karbidom kremíka

Grafitová hlaveň potiahnutá karbidom kremíka Semicorex je dokonalou voľbou pre aplikácie výroby polovodičov, ktoré vyžadujú vysokú odolnosť voči teplu a korózii. Jeho výnimočná tepelná vodivosť a vlastnosti distribúcie tepla ho predurčujú na použitie v procesoch LPE a iných vysokoteplotných prostrediach.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Pokiaľ ide o výrobu polovodičov, grafitová hlaveň potiahnutá karbidom kremíka Semicorex je najlepšou voľbou pre výnimočný výkon a spoľahlivosť. Jeho vysokokvalitný SiC povlak a vynikajúca hustota a tepelná vodivosť poskytujú vynikajúcu distribúciu tepla a ochranu aj v tých najnáročnejších vysokoteplotných a korozívnych prostrediach.

Naša grafitová hlaveň potiahnutá karbidom kremíka zaisťuje rovnomerný tepelný profil a zaručuje najlepší laminárny vzor prúdenia plynu. Zabraňuje akejkoľvek kontaminácii alebo nečistotám v difúzii do plátku, vďaka čomu je ideálny na použitie v prostredí čistých priestorov. Semicorex je rozsiahly výrobca a dodávateľ grafitového susceptora potiahnutého SiC v Číne a naše produkty majú dobrú cenovú výhodu. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v polovodičovom priemysle.

Parametre grafitového suda potiahnutého karbidom kremíka

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300

Vlastnosti grafitového valca potiahnutého karbidom kremíka

- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú dobrú hustotu a môžu hrať dobrú ochrannú úlohu vo vysokoteplotných a korozívnych pracovných prostrediach.

- Susceptor potiahnutý karbidom kremíka používaný na rast monokryštálov má veľmi vysokú rovinnosť povrchu.

- Znížte rozdiel v koeficiente tepelnej rozťažnosti medzi grafitovým substrátom a vrstvou karbidu kremíka, účinne zlepšite pevnosť spojenia, aby sa zabránilo praskaniu a delaminácii.

- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú vysokú tepelnú vodivosť a vynikajúce vlastnosti rozloženia tepla.

- Vysoká teplota topenia, odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote, odolnosť proti korózii.