TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD).
Karbid tantalu (TaC) je zlúčenina, ktorá pozostáva z tantalu a uhlíka. Má kovovú elektrickú vodivosť a výnimočne vysoký bod topenia, čo z neho robí žiaruvzdorný keramický materiál známy svojou pevnosťou, tvrdosťou a odolnosťou voči teplu a opotrebovaniu. Teplota topenia karbidov tantalu vrcholí pri asi 3880 °C v závislosti od čistoty a má jeden z najvyšších bodov topenia medzi binárnymi zlúčeninami. Vďaka tomu je atraktívnou alternatívou, keď požiadavky na vyššie teploty presahujú výkonové možnosti používané v epitaxných procesoch zložených polovodičov, ako sú MOCVD a LPE.
Materiálové údaje Semicorex TaC Coating
Projekty |
Parametre |
Hustota |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivita |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Tvrdosť (HK) |
2000 |
Odpor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Tepelná stabilita |
<2500 ℃ |
Zmena rozmeru grafitu |
-10~-20um (referenčná hodnota) |
Hrúbka povlaku |
≥20um typická hodnota (35um±10um) |
|
|
Vyššie uvedené sú typické hodnoty |
|
Semicorex TaC potiahnutý Halfmoon ponúka presvedčivé výhody v epitaxnom raste karbidu kremíka (SiC) pre výkonovú elektroniku a RF aplikácie. Táto kombinácia materiálov rieši kritické výzvy v epitaxii SiC, čo umožňuje vyššiu kvalitu plátku, zlepšenú efektivitu procesu a znížené výrobné náklady. My v Semicorex sme odhodlaní vyrábať a dodávať vysokovýkonný Halfmoon potiahnutý TaC, ktorý spája kvalitu s nákladovou efektívnosťou.**
Čítaj viacOdoslať dopytTesniaci krúžok s povlakom Semicorex TaC aplikovaný na tesniace komponenty poskytuje výnimočné výkonnostné výhody v náročných prostrediach výroby polovodičov. TaC povlak rieši kritické výzvy súvisiace s chemickou odolnosťou, extrémnymi teplotami a mechanickým opotrebením, čo umožňuje vyššie výnosy procesu, dlhšiu dobu prevádzkyschopnosti zariadenia a v konečnom dôsledku aj nižšie výrobné náklady. My v Semicorex sa venujeme výrobe a dodávaniu vysokovýkonného tesniaceho krúžku potiahnutého TaC, ktorý spája kvalitu s cenovou efektívnosťou.**
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Tantalum Carbide Coated Susceptor je kritickým komponentom, ktorý hrá kľúčovú úlohu v procesoch nanášania nevyhnutných na vytváranie polovodičových doštičiek. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne*.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Tantalum Carbide Chuck je pokročilý komponent používaný v zariadeniach na výrobu polovodičov, známy svojimi výnimočnými tepelnými a mechanickými vlastnosťami. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne*.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex TaC Coated Ring predstavuje kritický komponent, ktorý spĺňa tieto náročné požiadavky. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne*.
Čítaj viacOdoslať dopytSprchová hlavica s povrchovou úpravou Semicorex TaC je neoddeliteľnou súčasťou procesu chemického nanášania pár a poskytuje bezkonkurenčný výkon a dlhú životnosť. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne*.
Čítaj viacOdoslať dopyt