TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD).
Karbid tantalu (TaC) je zlúčenina, ktorá pozostáva z tantalu a uhlíka. Má kovovú elektrickú vodivosť a výnimočne vysoký bod topenia, čo z neho robí žiaruvzdorný keramický materiál známy svojou pevnosťou, tvrdosťou a odolnosťou voči teplu a opotrebovaniu. Teplota topenia karbidov tantalu vrcholí pri asi 3880 °C v závislosti od čistoty a má jeden z najvyšších bodov topenia medzi binárnymi zlúčeninami. Vďaka tomu je atraktívnou alternatívou, keď požiadavky na vyššie teploty presahujú výkonové možnosti používané v epitaxných procesoch zložených polovodičov, ako sú MOCVD a LPE.
Materiálové údaje Semicorex TaC Coating
Projekty |
Parametre |
Hustota |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivita |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Tvrdosť (HK) |
2000 |
Odpor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Tepelná stabilita |
<2500 ℃ |
Zmena rozmeru grafitu |
-10~-20um (referenčná hodnota) |
Hrúbka povlaku |
≥20um typická hodnota (35um±10um) |
|
|
Vyššie uvedené sú typické hodnoty |
|
Semicorex TaC Coating Half-moon je špecializovaný komponent vyrobený z grafitu potiahnutého karbidom tantalu (TaC), navrhnutý na použitie v epitaxných procesoch. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex TaC Coating Chuck, špičkové vákuové skľučovadlo vybavené povlakom TaC, špeciálne navrhnuté pre polovodičové pece. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytMôžete si byť istí, že si v našej továrni kúpite poťahovaciu dosku TaC. Epitaxná doska s povlakom Semicorex TaC (karbid tantalu) sa môže pochváliť výnimočnou tepelnou odolnosťou, vďaka čomu je ideálna pre aplikácie vystavené vysokým teplotám. Jeho pozoruhodná schopnosť odolávať teplu zaisťuje odolnosť a spoľahlivosť v náročných prostrediach. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex TaC Coated Plate je špecializovaný disk navrhnutý na použitie pri epitaxných procesoch SiC, vyrobený s presnosťou z vysoko kvalitného grafitového materiálu. Jeho povrch je starostlivo potiahnutý karbidom tantalu (TaC), zlúčeninou známou pre svoju výnimočnú čistotu a pevnosť. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex TaC Coating Jig stojí ako kľúčový komponent v procese výroby polovodičov, starostlivo vyrobený z grafitu a posilnený pružnou vrstvou povlaku karbidu tantalu. Tento kľúčový prvok vybavenia stelesňuje spojenie najmodernejšej vedy o materiáloch a presného inžinierstva, ktoré je navrhnuté tak, aby spĺňalo prísne prevádzkové požiadavky a náročné normy prevládajúce pri výrobe polovodičov. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex TaC Coating Susceptor predstavuje vrchol v materiálovom inžinierstve, starostlivo vyrobený z vysokokvalitného grafitu a posilnený povlakom z karbidu tantalu. Tento inovatívny komponent, primárne navrhnutý pre použitie v rámci rastu kryštálov SiC a epitaxných procesov SiC, predstavuje maják odolnosti a výkonu v extrémnych tepelných a chemických prostrediach. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopyt