Batch Wafer Boat

Semicorex poskytuje doštičkové člny, podstavce a vlastné nosiče doštičiek pre vertikálne/stĺpové aj horizontálne konfigurácie. Už mnoho rokov sme výrobcom a dodávateľom povlakového filmu z karbidu kremíka. Naša Batch Wafer Boat má dobrú cenovú výhodu a pokrýva väčšinu európskych a amerických trhov. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Semicorex Batch Wafer Boat sú vyrobené z vysoko kvalitného keramického materiálu z karbidu kremíka pre vynikajúcu chemickú odolnosť a tepelnú stabilitu.
Naša Batch Wafer Boat má hladkú povrchovú úpravu a poskytuje vynikajúcu podporu a ochranu plátkov počas spracovania. Povlak SiC zaisťuje rovnomernosť a stabilitu počas spracovania a chráni doštičky pred kontamináciou a poškodením. Vďaka vynikajúcej tepelnej vodivosti a vynikajúcej mechanickej pevnosti poskytujú naše držiaky doštičiek konzistentné a spoľahlivé výsledky.
Náš tím odborníkov sa zaviazal poskytovať najlepšiu kvalitu a služby. Ponúkame vlastné návrhy, aby sme splnili vaše špecifické požiadavky, a naše šaržové člny s oblátkami sú podporované naším programom zabezpečenia kvality.

Parametre Batch Wafer Boat

Technické vlastnosti
Index	Jednotka	Hodnota
Názov materiálu		Reakčný spekaný karbid kremíka	Beztlakový spekaný karbid kremíka	Rekryštalizovaný karbid kremíka
Zloženie		RBSiC	SSiC	R-SiC
Objemová hustota	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Pevnosť v ohybe	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20 °C) 90-100 (1400 °C)
Pevnosť v tlaku	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Tvrdosť	Tlačidlo	2700	2800	/
Prelomenie húževnatosti	MPa m1/2	4.5	4	/
Tepelná vodivosť	W/m.k	95	120	23
Koeficient tepelnej rozťažnosti	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Špecifické teplo	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maximálna teplota vzduchu	℃	1200	1500	1600
Modul pružnosti	Gpa	360	410	240

Rozdiel medzi SSiC a RBSiC:

1. Proces spekania je odlišný. RBSiC má infiltrovať voľný Si do karbidu kremíka pri nízkej teplote, SSiC vzniká prirodzeným zmršťovaním pri 2100 stupňoch.

2. SSiC majú hladší povrch, vyššiu hustotu a vyššiu pevnosť, pre niektoré tesnenia s prísnejšími požiadavkami na povrch budú SSiC lepšie.

3. Rôzny použitý čas pri rôznych PH a teplote, SSiC je dlhší ako RBSiC

Vlastnosti Batch Wafer Boat

- Vysoká pevnosť (tvrdosť podľa Mohsa 9,5, druhá po diamante)
- Odolnosť voči korózii voči kyselinám, zásadám, soliam a organickým rozpúšťadlám
- Vysoká tepelná vodivosť, odolnosť voči plazme, dlhá životnosť
- Polovodiče