Keramický nosič doštičiek

Semicorex poskytuje polovodičovú keramiku pre vaše nástroje na polovýrobu OEM a komponenty na manipuláciu s plátkami so zameraním na vrstvy karbidu kremíka v polovodičovom priemysle. Už mnoho rokov sme výrobcom a dodávateľom nosiča keramických plátkov. Naše produkty majú dobrú cenovú výhodu a pokrývajú väčšinu európskych a amerických trhov. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Keramický nosič doštičiek z karbidu kremíka má dobrú odolnosť proti korózii a vynikajúcu odolnosť voči vysokým teplotám a teplotným šokom. Vysoký modul pružnosti má okrem toho za následok vynikajúcu rozmerovú stabilitu. Okrem toho má keramický materiál nulovú pórovitosť a nízku hustotu pórov.
Môžeme spracovať všetky druhy keramických doštičiek podľa požiadaviek zákazníkov.

Parametre keramického nosiča plátkov

Technické vlastnosti
Index	Jednotka	Hodnota
Názov materiálu		Reakčný spekaný karbid kremíka	Beztlakový spekaný karbid kremíka	Rekryštalizovaný karbid kremíka
Zloženie		RBSiC	SSiC	R-SiC
Objemová hustota	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Pevnosť v ohybe	MPa (kpsi)	338(49)	380 (55)	80-90 (20 °C) 90-100 (1400 °C)
Pevnosť v tlaku	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Tvrdosť	Tlačidlo	2700	2800	/
Prelomenie húževnatosti	MPa m1/2	4.5	4	/
Tepelná vodivosť	W/m.k	95	120	23
Koeficient tepelnej rozťažnosti	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Špecifické teplo	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maximálna teplota vzduchu	℃	1200	1500	1600
Modul pružnosti	Gpa	360	410	240

Semicorex vyrábal keramický doštičkový nosič v troch formách, reakčný spekaný karbid kremíka (RBSiC), beztlakový spekaný karbid kremíka (SSiC) a rekryštalický karbid kremíka (R-SiC).

Rozdiel medzi SSiC a RBSiC:

1. Proces spekania je odlišný. RBSiC má infiltrovať voľný Si do karbidu kremíka pri nízkej teplote, SSiC vzniká prirodzeným zmršťovaním pri 2100 stupňoch.

2. SSiC majú hladší povrch, vyššiu hustotu a vyššiu pevnosť, pre niektoré tesnenia s prísnejšími požiadavkami na povrch budú SSiC lepšie.

3. Rôzny použitý čas pri rôznych PH a teplote, SSiC je dlhší ako RBSiC

Vlastnosti nosiča keramických plátkov

Vysoko čistý grafit potiahnutý SiC
Vynikajúca tepelná odolnosť a tepelná rovnomernosť
Jemný kryštál SiC potiahnutý pre hladký povrch
Vysoká odolnosť proti chemickému čisteniu
Materiál je navrhnutý tak, aby nedochádzalo k prasklinám a delaminácii.

Dostupné tvary keramiky z karbidu kremíka：

● Keramická tyč / keramický kolík / keramický piest

● Keramická trubica / keramická objímka / keramická manžeta

● Keramický krúžok / keramická podložka / keramická rozpera

● Keramický disk

● Keramická doska / keramický blok

● Keramická guľa

● Keramický piest

● Keramická tryska

● Keramický téglik

● Ďalšie zákazkové keramické diely