Vodorovné komorné pece sic lode

Semicorex Horizontal Chamber Purnace SIC lode sú vysoko inžinierskou časťou, ktorá drží a nesie doštičky alebo substráty, zatiaľ čo sú vystavené vysokoteplotnému tepelnému spracovaniu v horizontálnej komore. Loď na oblátky je vyrobená z vysokokvalitných SIC spájaných kremíkový karbid (sic), ktorá poskytuje jedinečnú kombináciu sily, tepelnej stability a vysokej chemickej rezistencie, ktorá sa vyžaduje v procesoch polovodičov, fotovoltaických a pokročilých keramických procesov. Loď na oblátky tiež pôsobí ako rigidná štruktúra, ktorá drží doštičky v polohe, rozmerovú stabilitu a presnosť doštičiek sa nestratia predĺženou expozíciou extrémnym procesným teplotám.

Vynikajúce vlastnosti karbidu kremíka poskytujú horizontálnu komorovú peci SIC lode vynikajúcu výkonnostnú výhodu v porovnaní s typickými materiálmi pre oblátky, ako sú kremeň alebo hlinit. Dokážu lepšie vydržať zriedkavé krátkodobé zahrievanie a chladiace cykly z dôvodu ich vysokého bodu topenia, odolnosti proti tepelnému nárazu a mechanickej pevnosti bez ohľadu na rýchlosť zahrievania a chladenia alebo extrémov tepelného cyklu. Pretože horizontálna pec sa spolieha výlučne na konzistentnosť pozícií doštičiek a na vystavenie podmienok procesu, správne zarovnanie doštičiek zabezpečuje konzistentný výťažok procesu a opakovateľnosť. Nízky koeficient tepelnej expanzie znamená, že loď nebude skresliť jeho životnosť a zaisťuje zachovaný tvar a rozstup doštičiek.

Jemne zrnitá, hustá štruktúra rekryštalizovaného SIC poskytuje pozoruhodnú odolnosť proti oxidácii, korózii a kontaminácii procesnými plynmi a vedľajšími produktmi. Vďaka tomu je loď obzvlášť výhodná pre procesy v agresívnej atmosfére, ako je difúzia, oxidácia, LPCVD a žíhanie. Vysoká chemická inertnosť SIC sa vyhýba reakciám s povrchmi oblátok, čím sa zachováva čistota produktu a minimalizuje tvorbu častíc v peci. Lode SIC môžu pomôcť výrobcom, ktorí potrebujú splniť prísne požiadavky na čistotu, poskytovať čistejšie prostredie spracovania a zlepšenú kvalitu oblátky.

Tieto lode sa môžu vyrábať s rôznymi zložitými geometriami a špecifickými rozmermi s presným technikami obrábania a formovania. Návrhy vo všeobecnosti používajú viac paralelných intervalov/drážok na bezpečné držanie oblátok v horizontálnej orientácii a rovnomerne vystavujú tepelným podmienkam celý povrch oblátky. Rozstupy a uhly slotu na sloty môžu byť tiež optimalizované tak, aby prispôsobili doštičky iných priemerov, ako napríklad 150 mm, 200 mm alebo 300 mm, a priamy prietok vzduchu počas spracovateľských efektov, pričom sa stále dosahuje teplotná uniformita na spracovanie.

Nielenže môžu byť vodorovné komorné pece SIC lode navrhnuté v štandardných odchodoch, ale môžu byť navrhnuté tak, aby pracovali s automatizovanými nakladačmi doštičiek, čo má za následok plynulú integráciu do moderných výrobných línií s vysokou výkonnosťou. Robustný dizajn tiež zníži pravdepodobnosť, že lode budú počas manipulácie a zníženia prestoje a nákladov na výmenu.

Tepelná vodivosťkarbid kremíkaPredstavuje ďalšiu kľúčovú výhodu, ktorá uľahčuje efektívny prenos tepla medzi doštičkami a pecím. Výhodou je, že výrobcovia sú schopní dosiahnuť rovnomernejšie podmienky spracovania a skracovať časy cyklu, čo môže zvýšiť účinnosť výroby. Lode SIC poskytujú konzistentné a opakovateľné výsledky, či sa používajú na výrobu polovodičových oblátok, výrobu solárnych článkov alebo iné pokročilé spracovanie materiálov pri zvýšených teplotách.

Stručne povedané, horizontálne komorné pece SIC lode sú kľúčovou súčasťou pre výrobcov, ktorí chcú vyrábať doštičky s vysoko výkonnými, dlhotrvajúcimi a kontaminačnými oblátkovými nosičmi odolnými. Má mechanickú pevnosť, tepelnú stabilitu a chemickú zotrvačnosť, ktorá sa v horizontálnych pecách nevyrovnáva. Výberom kremíkových karbidových člnov môžu operátori využiť lepšiu kontrolu procesu, vyššie výnosy a minimalizovať prevádzkové prerušenia v dôsledku údržby. Celkovo zabezpečuje efektívnejšie a nákladovo efektívnejšie výroby.