Horizontálne člny z karbidu kremíka

Semicorex horizontálnečlny z karbidu kremíkasú integrálne formované pomocou technológie 3D tlače a následne vyrobené vysokoteplotným spekaním. Tieto komponenty sú navrhnuté tak, aby vyhovovali rôznym veľkostiam vysokoteplotných horizontálnych pecí a široko sa používajú na pevné bezpečné uchovanie plátkov v kritických vysokoteplotných výrobných procesoch polovodičov, vrátane difúzie, oxidácie a chemického nanášania pár.

Fyzikálno-chemické vlastnosti karbidu kremíka

Výhody horizontálneho člna z karbidu kremíka Semicorexs

1. Stabilná podpora a poloha

Neprekonateľná sila materiálu a tvrdosť poskytujú horizontálnym člnom z karbidu kremíka Semicorex vynikajúcu nosnú kapacitu, ktorá im umožňuje stabilne niesť viacero plátkov súčasne. Vďaka presnému obrábaniu drážok môžu horizontálne člny z karbidu kremíka Semicorex pevne fixovať a bezpečne držať polovodičové doštičky. Štruktúra rovnomerne rozmiestnených štrbín zaisťuje, že doštičky si zachovávajú pevnú polohu počas celého cyklu spracovania, čím je zaručená konzistentnosť a presnosť procesov výroby polovodičov.

2. Kompatibilita s komplexnými prevádzkovými podmienkami

Vďaka svojej vynikajúcej odolnosti voči vysokým teplotám a korózii sú horizontálne člny z karbidu kremíka Semicorex schopné odolať náročným prevádzkovým prostrediam, ako sú vysokoteplotné atmosféry kyslíka, dusíka alebo chlorovodíka s nízkou koncentráciou. Tieto výnimočné vlastnosti materiálu môžu účinne zabrániť korózii a poškodeniu spôsobenému vysokoteplotnými korozívnymi plynmi, čo výrazne predlžuje životnosť člnov.

3. Výnimočný výkon v oblasti čistoty

Na rozdiel od bežných grafitových člnov potiahnutých karbidom kremíka sú horizontálne člny Semicorex z karbidu kremíka vyrobené z polovodičovej kvality s vysokou čistotoukarbid kremíka(99,999 %) s ultranízkym obsahom nečistôt. Tento výber prémiového materiálu eliminuje riziko úniku kontaminantov alebo odlupovania povlaku, a to aj pri vystavení vysokým teplotám a drsnému korozívnemu prostrediu. Okrem toho je každý z našich člnov z karbidu kremíka podrobený prísnym procesom čistenia ultrazvukom pred vákuovým balením, čo zaručuje súlad s normami čistoty požadovanými pokročilými výrobnými procesmi polovodičov.