Vstupné krúžky MOCVD

Semicorex je veľký výrobca a dodávateľ grafitu potiahnutého karbidom kremíka v Číne. Naše vstupné krúžky MOCVD majú dobrú cenovú výhodu a pokrývajú mnohé európske a americké trhy. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Semicorex dodáva vstupné krúžky MOCVD používané pri nanášaní a spracovaní plátkov, ktoré sú skutočne stabilné pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie. Naše vstupné krúžky MOCVD majú grafitovú konštrukciu potiahnutú vysoko čistým karbidom kremíka (SiC), ktorý poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy a trvácnu chemickú odolnosť. Jemný kryštálový povlak SiC poskytuje čistý, hladký povrch, ktorý je rozhodujúci pre manipuláciu, pretože nedotknuté doštičky sú v kontakte so susceptorom na mnohých miestach po celej svojej ploche.

V spoločnosti Semicorex sa zameriavame na poskytovanie vysokokvalitných, nákladovo efektívnych vstupných krúžkov MOCVD, uprednostňujeme spokojnosť zákazníkov a poskytujeme nákladovo efektívne riešenia. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom, ktorý bude poskytovať vysokokvalitné produkty a výnimočné služby zákazníkom.

Parametre vstupných krúžkov MOCVD

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300