Monokryštalický kremíkový planárny terč

Monokryštalický kremíkrovinný terč sa zvyčajne spracováva vysoko presným rezacím zariadením z ingotov monokryštalického kremíka vyrobených Czochralského metódou. Aby sa splnila diverzifikácia potrieb zákazníkov, monokryštalický kremíkový planárny terč môže byť narezaný do požadovaných tvarov pre vašich vážených zákazníkov. Presná technológia brúsenia a leštenia zaisťuje vynikajúcu rovinnosť povrchu cieľového materiálu a poskytuje silnú záruku na nanášanie tenkých vrstiev.

Monokryštalický kremíkový planárny terč je umiestnený vo vákuovej reakčnej komore spolu so substrátom, ktorý má byť potiahnutý počas procesu nanášania filmu. Keď je monokryštalický kremíkový planárny terč bombardovaný vysokoenergetickými iónmi, atómy kremíka na jeho povrchu sú rozprášené. Tieto naprašované atómy kremíka potom migrujú a ukladajú sa na povrch substrátu, pričom nakoniec vytvoria tenký kremíkový film.

Monokryštalický kremíkový planárny terč slúži ako materiálový zdroj pre nanášanie tenkých vrstiev. Všetky atómy kremíka uložené na povrchu plátku pochádzajú z monokryštalických kremíkových planárnych terčov. Preto kvalita monokryštalického kremíkového planárneho terča priamo určuje čistotu, rovnomernosť a ďalšie kľúčové vlastnosti naneseného tenkého filmu.

Vynikajúca charakteristika čistoty dáva monokryštalickému kremíkovému planárnemu terčíku schopnosť zabrániť nečistotám v kontaminácii tenkého filmu. To výrazne zlepšuje elektrický výkon polovodičových zariadení. Zlepšenie rovnomernosti a adhézie tenkých vrstiev ťaží z vysoko usporiadanej kryštálovej štruktúry, ktorá umožňuje časticiam naprašovania migrovať a ukladať sa na povrch plátku pravidelnejšie. Dizajn rovinnej štruktúry je vhodný pre požiadavky na veľkoplošné a vysokorýchlostné naprašovanie a je použiteľný pre scenáre výroby vo veľkom meradle, ako sú polovodičové doštičky a zobrazovacie panely.