Kremíkové lode

Semicorex kremíkové lode sú špecializované komponenty používané prevažne v oblasti vysokoteplotného rastu kryštálov, produkcii polovodičov a súvisiacich fotovoltaických odvetviach. Sú skonštruované z vysoko výživného kremíka a vyrobené na držanie doštičiek, substrátov alebo surovín počas tepelného spracovania. To zaisťuje, že proces sa vyskytuje v čistom prostredí a kontrolovanom prostredí, ktoré je neuveriteľne dôležité pri zabezpečovaní zachovania čistoty a spoľahlivého výkonu bez kontaminácie.

Vyrábajú sa pomocou pokročilých a spekajúcich techník, kremíkové lode poskytnú vynikajúcu rozmerovú presnosť a vynikajúci hladký povrch povrchu. To je rozhodujúce pri dosahovaní rovnomerného zahrievania komponentov naložených na substráte alebo lode, čo zaisťuje nízke tepelné gradienty a defekty počas zahrievacích a chladiacich cyklov. Okrem toho majú vysoký bod topenia kremíka, čo znamená, že loď vydrží extrémne teploty počas akéhokoľvek procesu (ako je difúzia, oxidácia, epitaxia) bez deformácie alebo degradácie materiálu. Nakoniec majú nízky koeficient tepelnej expanzie pre kremík, ktorý tiež poskytuje mechanickú stabilitu a znižuje pravdepodobnosť praskania a deformácie pri interakcii s rýchlymi tepelnými zmenami.

Jednou z hlavných prínosov spojených s kremíkovými loďami je ich vysoká chemická zotrvačnosť. V agresívnych procesných prostrediach nie sú kremíkové lode napadnuté halogénmi, kyselinami a reaktívnym plynom, čo poskytuje významné poistenie, že loď nebude podstúpiť degradáciu povrchu alebo nebude vytvárať variabilitu kontaminantov do spracovacej komory, ktorá môže ohroziť výnos a kvalitu produktu. Čistota materiálu, ktorý môže prekročiť> 99,999% čistotu, je tiež mimoriadne dôležitá pri výrobe polovodičov, pretože prítomnosť rovnomerného množstva kontaminantov môže dramaticky ovplyvniť elektrické vlastnosti konečných zariadení.

Okrem časti ingot rastu procesu sa kremíkové lode používajú vo väčšine výrobných krokov do oblátky - a slúžia ako spoľahlivé a predvídateľné nosiče kremíkových substrátov počas procesov tepelného spracovania. Silikónové lode vystavujú každú vzorku rovnakému zahrievaniu a času expozície - Konzistencia je kľúčom k udržiavaniu kvality kryštálov. Môžu byť implementované aj so všetkými typmi návrhov pecí a spracovateľských atmosfér, vďaka čomu je produkt s univerzálnou aplikáciou na väčšinu spracovateľských vedení. Hladké povrchy vnútorných kompartmentov poskytujú menšie poškodenie tenšieho mechanickej štruktúry doštičiek v porovnaní s inými skutočne hrubými povrchmi, ktoré prispievajú k nižším rizikom mikrofraktúr pri zvyšovaní konečnej rýchlosti výťažku.

Silikónové lode sú životne dôležité pre výrobu v polovodičových procesoch difúzie alebo implantácie iónov, kde doštičky musia byť presne regulované teplota na okraji lode, pozdĺž bočnej strany a rovnomerne zahrievané. Sila a tepelná vodivosť kremíka poskytuje výrobcovi dostatočné rozlíšenie na kontrolu procesných teplôt, aby sa minimalizovalo časy cyklu a optimalizovali účinnosť celkového procesu. Inerta materiálu nebude poškodiť interakciu s plynnými formami dopantov, čo umožňuje prísnu kontrolu dopingových profilov.

Silikónové lode môžu byť navrhnuté v májových tvaroch a veľkostiach, ktoré zahŕňajú ploché, štrbinové a rôzne vlastné tvary, ktoré spĺňajú požiadavky na proces jednotlivého výrobcu. Existuje niekoľko možností prispôsobenia vrátane hrúbky steny, šírky štrbín a návrhov, ktoré spĺňajú rôzny počet doštičiek rôznych veľkostí. Tieto možnosti umožňujú výrobcovi riadiť tepelný tok, maximálnu kapacitu lodí a nakladanie/vykladanie lodí.

Ďalšou oblasťou, v ktorej výhody povrchu kremíkovej lode je údržba lodí a ich životnosť. Všeobecne platí, že kremíkové lode poskytujú trvalú služobnú životnosť pri zachovaní niekoľkých postupov manipulácie a čistenia na pravidelné čistenie lodí v oblastiach s vysokou teplotou, kde vidia veľa „rýchleho tepelného cyklistiky“. Pri dobre udržiavanej štruktúre sa náhradná frekvencia zníži, čo bude mať za následok nižšie náklady na operácie a prestoje.

Silikónové lode sú kritické v súčasnom výrobe polovodičov a solárnych výrobkov, kde sú kľúčové riadenie procesov a prevencia kontaminácie. Čistota, tepelná stabilita, mechanická trvanlivosť a chemická stabilita kremíkových lodí umožňujú ich použitie v procesoch, ktoré majú náročné požiadavky. Či už v laboratórnom prostredí alebo vo väčšej priemyselnej praxi, kremíkové lode môžu ponúkať neustály a spoľahlivý výkon spôsobom, ktorý zlepšuje kvalitu produktu, zlepšuje výnos a zvyšuje účinnosť.

Maximalizácia týchto výhod začína nájdením kvalitného dodávateľa kremíkových lodí. Výrobcovia dodávateľov, ktorí majú kvalitnú kontrolu, presné obrábanie a zriadenie čistých materiálov, sú schopní poskytovať kremíkové lode, ktoré sa nedajú merať iba na presné detaily, rozmerné limity a kvalitu povrchu, ale vyrábajú kremíkové lode, ktoré sú vyrobené z čistého materiálu pre dlhodobý výkon a spoľahlivosť takmer v akomkoľvek používaní aplikácií. Užitočnosť kremíkových člnov pri identifikácii výroby kremíka s niektorými z najkomplexnejších aplikácií a polovodičové zariadenia novej generácie a vysokoúčinné solárne bunky PV sa vyrábajú pomocou kremíkových lodí.