Silikónový podstavec

Semicorex Silicon Pedestal Boat je ultračistý nosič plátkov, ktorý bol navrhnutý s vysokou čistotou a presnosťou na podporu vysokoteplotných polovodičových procesov, ako je oxidácia, difúzia a LPCVD (Low Pressure Chemical Vapour Deposition). Tento nosič doštičiek je vyrobený z 9N (99,9999999%)vysoko čistý kremíkaby sa zabezpečila výnimočná čistota, tepelný koeficient stability rozťažnosti a mechanická presnosť pre podporu plátku a konzistentné riadenie procesu v ultračistom prostredí.

Ako sa geometrie polovodičových zariadení stále zmenšujú, potreba ultračistých a tepelne kompatibilných komponentov na manipuláciu s plátkami nebola nikdy taká žiadaná. Silicon Pedestal Boat spĺňa tieto požiadavky s vysokou rozmerovou presnosťou a bezkonkurenčnou čistotou na použitie v pokročilých pecných systémoch, ktoré pracujú medzi 1100 °C a 1250 °C.

Konštrukciu silikónového člna je možné prispôsobiť tak, aby vyhovovala požiadavkám zákazníka, vrátane tvaru drážkovej tyče, dĺžky zubov drážky, tvaru, uhla sklonu a celkovej nosnosti plátku. Vysokoteplotné kremíkové člny môžu účinne znížiť kontaktné poškodenie kremíkových plátkov a zlepšiť výťažok procesu. Jeho vysokoteplotný dizajn „bezšmykových veží“ podopiera doštičky iba na špičke nosného zuba. V porovnaní s karbidom kremíka je kremík relatívne menej tvrdý, čím sa znižuje mechanické poškodenie plátkov, čím sa zlepšuje kvalita mriežky a efektívne sa znižujú výrobné náklady.

Stojanová loď je k dispozícii vmonokryštalický alebo polykryštalický kremíkna odstránenie rizík kontaminácie spojených s nekremíkovými materiálmi. Platforma má rovnaké chemické zloženie ako aktívne používané doštičky, čo minimalizuje nežiaduce reakcie alebo difúziu iónov počas vysokoteplotných procesov. Homogenita materiálu podstatne znižuje fyzikálnu identitu častíc a kovových nečistôt pre konzistentne vysokú kvalitu plátku a vysoký výťažok zariadenia prostredníctvom opakovaných výrobných cyklov.

Semicorex Silicon Pedestal Boat je vybavený presne navrhnutými štrbinami na doštičky v kombinácii s vertikálnymi podpornými štruktúrami, ktoré zaisťujú, že doštičky zostanú počas cyklu ohrevu dokonale vyrovnané a rozmiestnené. Jeho rozmerová stabilita je vynikajúca, čo zaisťuje, že podstavca sa nebude deformovať, ohýbať alebo posúvať pri extrémnych teplotách, čo zaisťuje dobrú distribúciu teploty a plynu na každom plátku. Táto rozmerová stabilita má okamžitý pozitívny vplyv na rovnomernosť hrúbky filmu počas oxidácie a difúzie a poskytuje nižší počet defektov, ako aj lepšiu opakovateľnosť procesu.

Primárnou výhodou silikónového podstavca sú jeho optimalizované mechanické a tepelné vlastnosti. Tvrdosť kremíka v porovnaní s SiC alebo kremeňom pomôže znížiť tvorbu mikroškrabancov a častíc v dôsledku vibrácií plátku alebo pohybu počas zahrievania. Platí to najmä pre doštičky citlivé na zadnú stranu, kde je integrita povrchu doštičky rozhodujúca pre výnos a výkon zariadenia.

Loď na podstavci má dobrú tepelnú vodivosť a nízky koeficient tepelnej rozťažnosti, ktorý poskytuje vlastnosti prenosu tepla pri zachovaní tvaru a štrukturálnej pevnosti s viacerými vykurovacími a chladiacimi cyklami. Robustná konštrukcia tiež poskytuje dlhú životnosť s minimálnou deformáciou pri extrémnych podmienkach pece.

Semicorex poskytuje vlastné návrhy pre rôzne konfigurácie zariadení, vrátane priemeru plátku, počtu štrbín, výšky podstavca a variácií geometrie. Každý výrobok je kontrolovaný na čistotu, merané rozmery a test na tepelnú vodivosť, to všetko tak, aby spĺňalo najvyššie štandardy v procese výroby polovodičov.

Silikónový stojanový čln je kompatibilný s oxidačnými a difúznymi procesmi, ako aj s LPCVD a žíhacími aplikáciami vyžadujúcimi neprekonateľnú rovnomernosť teploty a kontrolu kontaminácie. Silikónový stojanový čln je kompatibilný s inými komponentmi kremíkovej pece, ako je vstrekovacia trubica, vložková trubica a nosič plátkov, pričom zachováva materiál a tepelnú zhodu v celom systéme spracovania.