Silikónový čln

Semicorex môže prispôsobiť štruktúru kremíkovej doštičky, vrátane tvaru drážkovej tyče, dĺžky zuba drážky, tvaru, uhla sklonu a celkovej nosnosti plátku, a môže byť vyrobený podľa požiadaviek zákazníka. Vysokoteplotné kremíkové člny môžu účinne znížiť kontaktné poškodenie kremíkových plátkov a zlepšiť výťažok procesu. Jeho vysokoteplotný dizajn „bezšmykových veží“ podopiera doštičky iba na špičke nosného zuba. V porovnaní skarbid kremíkakremík má relatívne nízku tvrdosť, čo znižuje mechanické poškodenie plátkov, čím sa zlepšuje rýchlosť prechodu mriežkou a efektívne sa znižujú výrobné náklady. Loď z taveného kremíka sa skladá z niekoľkých častí: zubov, základnej dosky a vrchnej dosky, ktoré sú spolu spojené. Tým sa znižujú výrobné náklady. V prípade čiastočného poškodenia je možné poškodené diely vymeniť bez výmeny celého silikónového člna, čo výrazne znižuje náklady na vlastníctvo počas používania. Okrem toho má kremíková loď veľký horný limit pre nanášanie polysilikónu, čo môže účinne znížiť frekvenciu zariadení PM a zlepšiť výrobnú kapacitu.

Semicorex Silicon Wafer Boat je inovatívny, účelovo navrhnutý nosič plátkov. Je špeciálne vytvorený pre spracovanie vo vysokoteplotnej peci používané v polovodičovom priemysle, vrátane oxidačných a redukčných procesov pri teplotách medzi 1200 a 1250 °C. Vďaka výkonnostným výhodám, ktoré nie sú dostupné v materiáli z karbidu kremíka (SiC), poskytuje Silicon Wafer Boat výhody súvisiace s prísnymi procesmi, ktoré si vyžaduje výroba polovodičov. Po prvé, mimoriadne vysoká čistota kremíkového materiálu je významná; v skutočnosti,silikónový materiáldosahuje ultra vysoké úrovne čistoty nad 9 N (99,9999999 %), čím zaisťuje, že spracovanie plátkov nekontaminujú žiadne kovové alebo cudzie nečistoty. To je rozhodujúce pre výrobu špičkových polovodičových zariadení, kde spoľahlivosť výkonu a výťažnosť sú silne ovplyvnené kontamináciou. Silicon Wafer Boat poskytuje ultračisté prostredie s vysokou úrovňou čistoty vhodné pre najpokročilejšie priemyselné požiadavky na manipuláciu s plátkami vystavenými veľmi vysokým teplotám na oxidačné a redukčné spracovanie.

Ďalšou výhodou jesilikónový materiálje jeho nižšia tvrdosť v porovnaní s materiálom SiC. SiC tyče alebo člny sú známe svojou tvrdosťou a pevnosťou, ale samotná vlastnosť môže viesť k ťažkostiam pri spracovaní oblátok. Pri vysokých teplotách sa doštičky budú mikrohýbať; vo vnútri člna budú mierne poskakovať, mierne sa posúvať a deformovať okraje. Tvrdší materiál SiC môže predstavovať vyššie riziko vytvárania častíc alebo škrabancov na zadnej strane plátku, pretože vlastnosti plátku a člna interagujú za týchto podmienok spracovania pri vysokej teplote.

Silicon Wafer Boat zmierňuje tieto obavy tým, že využíva relatívne mäkký charakter kremíka vo vzťahu k SiC. Zníženie tvrdosti umožňuje menšie trenie a mechanické namáhanie pri kontakte plátkov s loďou počas tepelných cyklov. Výsledkom je, že častice sa vytvárajú menej často a riziko škrabancov na zadnej strane sa zníži takmer na nulu. Okrem toho minimalizáciou povrchových defektov Silicon Wafer Boat priamo zlepšuje kvalitu mriežky a zvyšuje celkovú mieru kvalifikácie spracovaných doštičiek. Pre polovodičové továrne, ktoré chcú zlepšiť výnosy s maximálnou kontrolou kvality, robí tento stav výkonu silikónovú loď príťažlivou možnosťou.

Kremík ponúka dobrú stabilitu a mechanickú pevnosť pri vysokých teplotách, čo umožňuje lodi spoľahlivo slúžiť počas opakovaných cyklov pece. Materiál odoláva deformácii počas cyklov ohrevu a chladenia, a preto si zachováva presné umiestnenie plátku a toleranciu polohy aj počas rýchlych cyklov pece. Táto tepelná odolnosť poskytuje spoľahlivé výsledky procesu, ktoré sú dostatočne konzistentné pre veľkoobjemovú výrobu s minimálnymi odchýlkami medzi jednotlivými sériami. Silicon Wafer Boat je skonštruovaný s vysokou rozmerovou presnosťou, aby sa zabezpečilo konzistentné umiestnenie a umiestnenie plátku. Loď je vyrobená pomocou pokročilého obrábania a leštenia, aby sa vytvorili hladké povrchy, úzka geometria a úzke tolerancie.