Silikónový ochranný krúžok

Semicorex Silicon Shield Ring je kritickým polovodičovým komponentom v procese leptania. Jeho primárnou funkciou je obklopiť elektródu a zabrániť nadmernému úniku plazmy. S čistotou materiálu presahujúcou 9N (99,9999999%) môže byť tieniaci krúžok vyrobený z monokryštálov aj multikryštálovkremíkazaisťuje ultračistú prevádzku a spoľahlivú kompatibilitu s pokročilými výrobnými procesmi polovodičov.

Presná kontrola plazmy v procese leptania CCP/ICP je nevyhnutná pre efektívnu, jednotnú rýchlosť leptania a kvalitu plátku. Nekontrolovaný únik plazmy mimo požadovanú oblasť leptania by mohol spôsobiť povrchovú eróziu a kontamináciu alebo poškodiť komponenty vo vnútri komory. Silikónový tieniaci krúžok je efektívnym a jednoduchým riešením tohto problému, vytvorený tak, aby vytvoril ochrannú bariéru na vonkajšom obvode elektródy, zadržal plazmu pred šírením mimo cieľovú oblasť a obmedzil leptanie len na požadovanú oblasť. Kremíkový tieniaci krúžok tiež pôsobí ako vonkajšia elektróda na stabilizáciu distribúcie plazmy a umožňuje rovnomernejšiu energiu na povrchu plátku.

Tepelné a elektrické vlastnosti kremíka ďalej podporujú výkon Etching Shield Ring. Jeho odolnosť voči vysokým procesným teplotám poskytuje štrukturálnu integritu počas dlhšieho vystavenia plazme a jeho elektrická vodivosť umožňuje komponentu správne fungovať ako prvok v systéme elektród. Spoločne tieto aplikácie zlepšujú zadržiavanie plazmy a zlepšujú rovnomernosť energie, čo umožňuje opakovateľné profily leptania na doštičkách.

Mechanická tolerancia je ďalšou pozoruhodnou vlastnosťou ochranného krúžku na leptanie kremíka. Tým, že je vyrobený s prísnymi toleranciami, zaisťuje presné umiestnenie okolo elektródy a zachováva rozstup a geometriu komory. Táto mechanická presnosť vytvára opakovateľné podmienky procesu pre menšiu variabilitu medzi jednotlivými chodmi a pomáha pri veľkoobjemovej výrobe polovodičov. Samotný materiál má vynikajúcu kompatibilitu s plazmovým prostredím; preto erodovanie jeho štruktúry umožňuje typicky poskytovať dlhú životnosť a stabilitu vo výkone procesu.

Trvanlivosť a efektívnosť nákladov sú dve ďalšie cenné výhody. Tým, že tieniaci krúžok chráni nepotrebné časti komory pred plazmou, znižuje opotrebenie ostatných kritických komponentov, čo znižuje náklady na údržbu a zvyšuje celkovú prevádzkovú dobu prevádzky. Dlhá životnosť a menej časté výmeny z neho robia nákladovo efektívne riešenie pre polovodičové závody na zvýšenie produktivity a tým aj zníženie prevádzkových nákladov.

Thekremíktieniaci krúžok možno tiež prispôsobiť pre každú konfiguráciu nástroja a špecifikácie procesu, pretože sú dostupné v niekoľkých veľkostiach a geometriách, aby vyhovovali mnohým rôznym plazmovým leptacím komorám, ktoré výrobcovia vyrábajú, pričom stále dosahujú optimálne prispôsobenie. Okrem toho je možné použiť povrchové úpravy a leštenie na ďalšie zníženie tvorby častíc pre ultračisté výrobné štandardy.