> Produkty > Keramické > Karbid kremíka (SiC) > Zaostrovací krúžok na spracovanie plazmy

Produkty

nové produkty

Zaostrovací krúžok na spracovanie plazmy

Zaostrovací krúžok na spracovanie plazmou Semicorex je špeciálne navrhnutý tak, aby spĺňal vysoké požiadavky na spracovanie plazmového leptania v polovodičovom priemysle. Naše pokročilé, vysoko čisté komponenty potiahnuté karbidom kremíka sú vyrobené tak, aby odolali extrémnym prostrediam a sú vhodné na použitie v rôznych aplikáciách vrátane vrstiev karbidu kremíka a epitaxných polovodičov.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Náš zaostrovací krúžok na plazmové spracovanie je vysoko stabilný pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie, vďaka čomu je ideálnou voľbou pre použitie v komorách na plazmové leptanie (alebo suché leptanie). Naše zaostrovacie krúžky alebo okrajové krúžky, navrhnuté na zlepšenie rovnomernosti leptania okolo okraja alebo obvodu plátku, sú navrhnuté tak, aby minimalizovali kontamináciu a neplánovanú údržbu.

Náš povlak SiC je hustý povlak z karbidu kremíka odolný voči opotrebovaniu s vysokou odolnosťou proti korózii a teplu, ako aj vynikajúcou tepelnou vodivosťou. SiC nanášame v tenkých vrstvách na grafit pomocou procesu chemického vylučovania z plynnej fázy (CVD). To zaisťuje, že naše krúžky SiC Focus majú vynikajúcu kvalitu a odolnosť, vďaka čomu sú spoľahlivou voľbou pre vaše potreby spracovania plazmového leptania.

Kontaktujte nás ešte dnes a dozviete sa viac o našom zaostrovacom prstenci na spracovanie plazmy.

Parametre zaostrovacieho prstenca na plazmové spracovanie

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300

Vlastnosti zaostrovacieho prstenca na plazmové spracovanie

- CVD povlaky z karbidu kremíka na zlepšenie životnosti.

- Tepelná izolácia vyrobená z vysoko výkonného čisteného tuhého uhlíka.

- Ohrievač a doska z uhlíkového/uhlíkového kompozitu. - Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú vysokú tepelnú vodivosť a vynikajúce vlastnosti rozloženia tepla.

- Vysoko čistý grafit a SiC povlak pre odolnosť proti dierkovaniu a vyššiu životnosť