Poly-Si vonkajšie krúžky na leptanie

Typicky umiestnené okolosprchová hlavica, Vonkajší krúžok Poly-Si slúži ako spojovací diel medzi výfukovým krúžkom a sprchovou hlavicou. Funguje kooperatívne selektrostatické skľučovadlo, Si sprchová hlavica, Si zaostrovací krúžok, Si výfukový krúžok a Si tieniaci krúžok, čím sa vytvára stabilné a spoľahlivé procesné prostredie pre vysoko presné leptanie.

Výhody vonkajších krúžkov Semicorex poly-Si na leptanie

Vonkajšie krúžky Semicorex poly-Si na leptanie sú precízne vyrobené z vysokokvalitného polysilikónu a poskytujú nasledujúce vynikajúce vlastnosti.

1. Vysoká čistota a nízky obsah častíc

2.Vynikajúca odolnosť voči vysokej teplote a vysoká odolnosť voči tepelným šokom

3. Spoľahlivá odolnosť proti korózii

4.Výnimočný elektrický výkon a vysoká rovnomernosť elektrickej vodivosti

Funkcie vonkajších krúžkov Semicorex poly-Si na leptanie

1. Stabilný výkon uzemnenia

Vonkajšie krúžky Semicorex poly-Si na leptanie, ktoré sa používajú na uzemnenie a ochranu elektród, sú schopné zabrániť hromadeniu statickej elektriny, ako aj poškodeniu oblúkom a zaisťujú stabilnú prevádzku systému elektród, dokonale spĺňajúce procesné požiadavky na pokročilú výrobu 3D NAND.

2. Spoľahlivá podpora

Vonkajšie krúžky Semicorex poly-Si na leptanie slúžia ako základné komponenty spájajúce výfukový krúžok a sprchovú hlavicu. Poskytujú spoľahlivú mechanickú oporu obom častiam a udržujú ich stabilne umiestnené na vhodnom mieste. Okrem toho, použitie vonkajších krúžkov Semicorex poly-Si na leptanie môže zabrániť plazmovej erózii na leptacej komore, čo tak efektívne zaisťuje stabilný priebeh leptania.

3. Kompatibilita s procesom leptania

Vonkajšie krúžky Semicorex poly-Si na leptanie sa vyznačujú nízkym obsahom nečistôt a výnimočnou odolnosťou proti korózii, poskytujú vynikajúcu kompatibilitu s výrobou kremíkových doštičiek, čo výrazne znižuje defekty doštičiek spôsobené kontamináciou leptaným vedľajším produktom a výrazne zaisťuje vysoký výnos pri výrobe polovodičov.