Poly-Si štrbinové krúžky

Poly-Si štrbinové krúžky sú bežne inštalované v reakčnej komore pokročilého zariadenia na leptanie polovodičov. Pôsobia synergicky s kremíkovými časťami vrátane kremíkazaostrovacie krúžky, kremíkové vonkajšie krúžky a kremíksprchové hlavice. Tieto časti môžu vytvoriť stabilné a optimálne reakčné prostredie pre proces leptania, čo zaisťuje vynikajúcu kvalituleptaniepresnosť a konzistentnosť procesu.

Funkcie štrbinových krúžkov Semicorex poly-Si

1. Drážkované krúžky Semicorex poly-Si sú vybavené viacerými rovnomerne rozmiestnenými štrbinami, ktoré slúžia ako priechody plynu, ktoré umožňujú plynulý odvod procesných plynov po reakcii.

2. Semicorex poly-Si štrbinové krúžky sú schopné dosiahnuť vynikajúcu kontrolu plazmy a ponúkajú spoľahlivú ochranu pre reakčnú komoru zariadenia na leptanie polovodičov.

3. Semicorex poly-Si štrbinové krúžky môžu pomôcť upraviť elektrické pole a tlak v komore, čím zabránia nestabilite ovplyvňovať konzistenciu procesu leptania.

Vysoký štandardný výber materiálu

Drážkované krúžky Semicorex poly-Si sú vyrobené z vysoko kvalitného polykryštalického kremíka s úrovňou čistoty nad 99,9999 %, čo im dodáva vynikajúce vlastnosti, ako je uvedené nižšie.

1. Ultra vysoká čistota a extrémne nízky obsah nečistôt.

2. Výnimočná odolnosť proti plazmovej korózii.

3. Priaznivé elektrické vlastnosti s rovnomerným odporom: RRG ≤ 5%, nízka rez. (<0,02), stredná rez. (1–4) a vysokým rozlíšením. (70 – 90).

Výrobné možnosti a kontrola kvality

Semicorex, vybavený pokročilým obrábacím zariadením a skúseným technickým tímom, prísne kontroluje každý výrobný proces a našim váženým zákazníkom ponúka vysokokvalitné a dobre zladené poly-Si drážkové krúžky. Okrem toho spoločnosť Semicorex vykonáva prísnu kontrolu nad meraním rozmerov, testovaním odporu a vizuálnou kontrolou hotových poly-Si štrbinových krúžkov, aby sa zabezpečilo, že neobsahujú chyby, ako sú triesky, škrabance, praskliny a škvrny.