Pórovité sic Chuck

Semicorex Porous SIC Chuck je keramická časť, ktorá bola zostavená s presnosťou na bezpečné a efektívne zaobchádzanie s substrátmi doštičiek pre polovodičové aplikácie prostredníctvom procesných krokov, ako je kontrola, testovanie a litografia. Chuck sa vyrába z keramiky z karbidu kremíka (SIC). SIC má mechanickú pevnosť, chemickú odolnosť a vlastnosti tepelnej stability potrebné na špičkové prostredie výroby polovodičov.

Základnou charakteristikou porézneho SIC Chuck je jej jedinečná mikroštruktúra, ktorá vykazuje pórovitosť 35%-40%. Pri pevne kontrolovanej pórovitosti umožňuje nadmerné konštrukcie rovnomerné vyschnutie vysielania naprieč skľučovadlom, ktoré vytvárajú konzistentnú stabilnú a nekontaktnú podporu pre typicky jemné substráty doštičiek: kremík alebo GAN a ďalšie zložené polovodiče.  Režim vákuového sania sa vyhýba kontaminácii častíc a mechanické poškodenie, čím sa počas procesu zachováva integrita doštičiek.

Keramické telo skľučenia je predovšetkým SIC s vysokou čistotou, s ďalšou keramikou, ako je napríklad alumina (AL2O3), ktorá sa potenciálne používa pre obmedzený počet funkčných vrstiev v závislosti od aplikácie. Výskum a vývoj materiálu umožňuje zvládnuť veľkosť a distribúciu pórov na navrhnutie prúdenia vzduchu a držania sily v závislosti od veľkosti oblák a podmienok procesu. Ak je dôležité kontrolovať vákuum na tenších doštičkách, začlení sa menšia veľkosť pórov. Pre rýchlejšie prietoky, ak je to vhodné, sa použije väčšia veľkosť pórov.

Porézne SIC Chucks vykazujú variáciu farieb v dôsledku premenných veľkostí pórov, keramických kompozícií a podmienok vypaľovania. SIC Chucks majú tendenciu byť čierne alebo tmavo šedé, pretože farba karbidu kremíka je buď šedá alebo čierna, avšak skľučovania s veľkým obsahom hlinitého majú tendenciu mať biele farby. Varianty vo farbe nemajú žiadny vplyv na výkon produktu a predstavujú iba inžinierske vlastnosti, ktoré boli vytvorené pre konkrétne aplikácie, aby vyhovovali konkrétnym potrebám zákazníkov.

V špičkových nástrojoch na spracovanie doštičiek sú dve najdôležitejšie vlastnosti tepelná stabilita a chemická zotrvačnosť. Karbid kremíka poskytuje vynikajúcu odolnosť proti koróznym plynom a tepelnej cyklistike. Porézny SIC Chuck úspešne pracuje vo vákuových komorách a nástrojoch na lepenie plazmy a naďalej funguje dobre pri rýchlo sa meniacich teplotách. Ich schopnosť udržiavať dimmenzionálnu stabilitu skľučenia zaisťuje, že oblátka zostane na rovnakom mieste, aj keď požiadavky na presnosť môžu byť pod submikrónom v závislosti od procesu, ktorý prispieva k rozmerovým stabilizovaným, zaisťuje presnosť.

Semicorex Porézne SIC Chucks sa vyrábajú pomocou autorizovaných formovacích a spekajúcich postupov, ktoré poskytujú rovnomernú pórovitosť, vysokú pevnosť v ohybe a nízku tepelnú expanziu. Každý skľučovadlo sa kontroluje na štruktúru pórov, rovinnosť a vákuový výkon, aby sa zabezpečilo spoľahlivý a opakovateľný produkt. K dispozícii sú aj vlastné návrhy, ktoré vyhovujú špecifickým veľkostiam oblátkov a požiadavkami na integráciu systému, ako sú kanály prietoku plynu na zadnej strane alebo montážne funkcie.

Záverom je, že porézny SIC Chuck je systém podpory substrátu s vysokou spoľahlivosťou, ktorý bol starostlivo navrhnutý tak, aby pracoval v spojení s požiadavkami na presné spracovanie doštičiek. Vďaka vysokej vákuovej schopnosti držania, prispôsobiteľnej štruktúry pórov a vynikajúcou stabilitou materiálu je nevyhnutným produktom v dnešných výrobných líniách polovodiča.