Porézne SIC vákuum Chuck

Semicorex Porézny SIC vákuový Chuck predstavuje riešenie manipulácie zamerané na dosiahnutie presného a stabilného polohovania doštičiek vo všetkých štádiách spracovania polovodičov. Tento vákuový Chuck má vynikajúcu priľnavosť pre aplikácie na manipuláciu s oblátkami a vyrovnanie substrátu, čím sa zvyšuje spoľahlivosť aj výkon. Výber základného materiálu - SUS430, zliatina hliníka 6061, husté hlinitý keramika, žula a kremíkovo karbid keramiky - dodávajú flexibilitu používateľa pri výbere optimálneho materiálu podľa individuálnych požiadaviek na tepelný výkon, mechanické vlastnosti alebo hmotnosť.

Lepšia voľba materiálu: Spodok porézneho SIC vákuového skľučenia sa dá zmeniť rôznymi materiálmi tak, aby vyhovovali rôznym potrebám:

• SUS430: lacná možnosť, ktorá dobre odoláva hrdzaveniu pre bežné použitie.
• Hliníková zliatina 6061: Dáva mix pevnosti, ľahkej hmotnosti a skvelej spracovateľnosti, vďaka čomu je v poriadku pre pravidelné zaobchádzanie s oblátkami.
• Hustá hlinitová keramika (99% AL2O3): Poskytuje vynikajúcu tepelnú stabilitu a vysokú tvrdosť, vhodnú pre aplikácie s vysokou teplotou alebo presnosťou.
• Žula: Známy pre svoju výnimočnú rovinnosť a stabilitu, žula poskytuje nízku tepelnú expanziu, ideálnu pre aplikácie vyžadujúce vysokú presnosť.
• Keramika z karbidu kremíka: SIC je známa vysokou tepelnou vodivosťou, chemickou rezistenciou a trvanlivosťou, je ideálna pre vysokovýkonné prostredia, v ktorých sa vyskytujú extrémne podmienky.

Vysoká presná rovinnosť: Porézny vákuum SIC Chuck zaisťuje vynikajúcu rovinnosť s presnosťou, ktorá sa mení na základe použitého materiálu. Materiálne hodnotenie od najvyšších po najnižšiu presnosť rovinatej je:

Žulová a kremíková karbidová keramika: Oba materiály ponúkajú vysokú presnú rovinnosť a zabezpečujú stabilitu oblátky aj v najnáročnejších spracovateľských prostrediach.

Hustý alumina (99% AL2O3): o niečo menšia rovinnosť v porovnaní s žulou a sic, ale stále ponúka dobrú presnosť pre všeobecné polovodičové aplikácie.

Hliníková zliatina 6061 a SUS430: Poskytnite mierne nižšiu presnosť rovinnosti, ale stále sú veľmi spoľahlivé pre manipuláciu s oblátkami v menej náročných aplikáciách.

Variácie hmotnosti pre špecifické potreby: Porézny vákuum SIC Chuck umožňuje používateľom vybrať si z rôznych materiálových možností na základe požiadaviek na hmotnosť:

Hliníková zliatina 6061: Najľahší výber materiálu, ktorý ponúka ľahkú manipuláciu a prepravu.

Žula: ťažší základný materiál, ktorý poskytuje vysokú stabilitu a minimalizuje vibrácie počas spracovania.

Keramika z karbidu kremíka: Má miernu váhu, ktorá ponúka rovnováhu trvanlivosti a tepelnej vodivosti.

Hustá alumina keramika: Najťažšia možnosť, ideálna pre aplikácie, kde je prioritná stabilita a vysoký tepelný odpor.

Vysoká trvanlivosť a výkon: Porézny SIC vákuum Chuck je skonštruovaný pre dlhodobý výkon, schopný odolávať variáciám extrémnej teploty a opotrebovaniu spojeným s polovodičovým spracovaním. Keramický variant karbidu kremíka je obzvlášť prospešný pre vysoké teplotné a chemicky agresívne prostredie kvôli svojej výnimočnej odolnosti voči tepelnej expanzii a korózii.

Cenovo efektívne riešenia: S viacerými materiálovými možnosťami poskytuje porézne vákuum SIC Chuck nákladovo efektívne riešenie, ktoré je možné prispôsobiť rôznym rozpočtom a požiadavkám na aplikáciu. V prípade všeobecných aplikácií sú hliníková zliatina a SUS430 nákladovo efektívne, zatiaľ čo stále ponúkajú uspokojivý výkon. Pre náročnejšie prostredie poskytujú keramické možnosti keramiky alebo SIC vylepšený výkon a trvanlivosť.

Aplikácie:

Porézne SIC vákuum Chuck sa používa primárne v polovodičovom priemysle na manipuláciu s oblátkami, a to aj v procesoch ako:

• Oblátky a rezanie
• Fotovoltaická výroba
• Rast epitaxie MOCVD a CVD
• Iónová implantácia
• Oxidácia a difúzne procesy

Porézny SIC vákuum spoločnosti Semicorexa vyniká jeho presnosti, všestrannosti a trvanlivosti. Či už potrebujete ľahké riešenia pre všeobecné zaobchádzanie alebo pokročilé materiály pre vysoko výkonné polovodičové procesy, náš produkt ponúka širokú škálu možností, ako vyhovieť vašim potrebám. Naše vákuové skľučovky, ktoré sú vyrobené s normami najvyššej kvality, zaisťujú spoľahlivé a efektívne zaobchádzanie s oblátkami pre rôzne aplikácie, čo prináša konzistentné výsledky v štandardných aj špecializovaných procesoch.

Pre priemyselné odvetvia, v ktorých sú zásadné stabilita a presná manipulácia s oblátkami, ponúka porézne vákuum SIC Chuck ideálne riešenie. Vďaka výberu materiálov, vysokej presnosti a vynikajúcej trvanlivosti je ideálnou voľbou pre širokú škálu polovodičových procesov.