Porézne vákuové skľučovadlá SiC

Semicorex porézny SiCvákuové skľučovadlású nepostrádateľné komponenty, ktoré sa dajú vo veľkej miere použiť v pokročilých procesoch výroby polovodičov, ako je stenčenie plátkov, krájanie, brúsenie, leštenie, fotolitografia, leptanie. Ich adsorpčná platforma je konštruovaná s poréznou SiC keramickou doskou s početnými rovnomerne rozloženými pórmi v mikrónovej mierke. S konzistentným priemerom pórov a výnimočnou rýchlosťou priechodných otvorov poskytujú vákuové skľučovadlá Semicorex porézne SiC plynulú dráhu plynu na odsávanie vákua. Počas prevádzky sa medzi skľučovadlom a plátkom vytvára stabilný a rovnomerný podtlak, čo umožňuje vysoko účinné vákuové upínanie a uvoľňovanie polovodičových plátkov.

Výhody poréznych vákuových skľučovadiel Semicorex SiC 

1. Výnimočná presnosť spracovania

Polovodičové doštičky spracované v pokročilej výrobe polovodičov sú extrémne tenké, takže aj mierne ohýbanie, vibrácie alebo nerovnomerné lokálne namáhanie môže viesť k zlomeniu, deformácii a zníženej presnosti v kritických procesoch, ako je litografia. Semicorexpórovitý SiCvákuové skľučovadlá sú spracované vysoko presným brúsením a leštením, čím sa dosahuje dokonalá drsnosť povrchu Ra ＜ 0,1 μm. To umožňuje vákuovým skľučovadlám Semicorex poréznym SiC poskytovať optimalizovaný pracovný povrch pre vysoko presnú výrobu polovodičov.

2. Vysoká čistota a vysoká odolnosť proti korózii

Aby boli plne splnené prísne normy čistoty polovodičov, Semicorex vyrába porézne SiC vákuové skľučovadlá s vysoko čistými surovinami z karbidu kremíka prostredníctvom vysokoteplotného spekania. To zaisťuje, že skľučovadlá sú bez odlupovania častíc a migrujúcich kovových nečistôt. Vďaka vynikajúcej chemickej stabilite SiC sú porézne vákuové skľučovadlá Semicorex SiC schopné odolávať drsnému koróznemu prostrediu a nevytvárajú žiadne ďalšie vedľajšie produkty, vďaka čomu sú veľmi vhodné pre vysokokvalitné procesy výroby čistých polovodičov.

3. Vynikajúca odolnosť a dlhodobá stabilita

Vákuové skľučovadlá používané vo výrobných linkách musia vydržať tisíce adsorpčných a uvoľňovacích cyklov, ako aj dlhodobé teplotné výkyvy. To kladie extrémne vysoké požiadavky na materiálové vlastnosti vákuových skľučovadiel. Porézne vákuové skľučovadlá Semicorex SiC sa vyznačujú vynikajúcou tvrdosťou materiálu a odolnosťou proti opotrebovaniu so stabilnou tepelnou rozťažnosťou. Nevykazujú žiadne tečenie alebo zhoršenie výkonu pri vysokých teplotách, čo výrazne predlžuje ich životnosť a znižuje frekvenciu údržby a výmeny komponentov.