Koncový efektor robota

Semicorex je popredným nezávislým výrobcom grafitu s povlakom karbidu kremíka, presne obrábaného grafitu vysokej čistoty so zameraním na grafit s povlakom karbidu kremíka, keramiku z karbidu kremíka, MOCVP v oblasti výroby polovodičov. Náš Robot End Effector má dobrú cenovú výhodu a pokrýva mnohé európske a americké trhy. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Robot End Effector je ruka robota, ktorá presúva polovodičové doštičky medzi polohami v zariadení na spracovanie doštičiek a nosičmi. Robot End Effector musí byť rozmerovo presný a tepelne stabilný, pričom musí mať hladký povrch odolný voči oderu, aby bolo možné bezpečne manipulovať s plátkami bez poškodenia zariadení alebo kontaminácie časticami. Náš vysoko čistý povlak karbidu kremíka (SiC) Robot End Effector poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy a trvácnu chemickú odolnosť.

Parametre koncového efektora robota

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300