Držiaky lodí SIC

Držiaky lodí SEMicorex SIC sú presné podporné zariadenia navrhnuté tak, aby držali čelné lode počas vysokoteplotných procesov pri výrobe polovodičov. Tieto držitelia vyrobené z karbidu kremíka s vysokou čistotou (SIC) vykazujú vynikajúcu tepelnú stabilitu, chemickú rezistenciu a mechanickú tuhosť, základné znaky, ak sa používajú v procesoch, ako je difúzia, oxidácia a epitaxný rast.

V náročných prostrediach výroby polovodičov je rozhodujúca ochrana integrity oblátky a minimalizácia kontaminácie. Držitelia lodí SIC ponúkajú pevnú inertnú platformu, ktorá dokáže tolerovať extrémne pecové prostredie a zároveň udržiavať integritu bez deformácie a bez uvoľnenia kontaminantov. Ich chemická inertnosť umožňuje ich použitie s reaktívnymi procesmi plynov, zatiaľ čo ich tepelná priepustnosť podporuje rovnomerné zahrievanie povrchu doštičiek na konzistentné spracovanie.

Každý držiak lodí SIC sa vyrába s vysokou toleranciou pre rozmerovú presnosť, čo uľahčuje ich prispôsobenie a prispôsobenie sa akémukoľvek typu lodí do oblátky a automatizovaným konfiguráciám záťaže. Ich rigidná štruktúra vytvára nielen silnú, stabilnú a primeranú podporu lodíškových lodí, ale tiež znižuje šancu mikro-vibrácie alebo polohové posuny môžu mať na oblároch. Okrem toho má karbid kremíka vynikajúcu odolnosť proti opotrebeniu a dokáže zvládnuť opakovanú tepelnú cyklistiku, aby poskytla dlhú životnosť, čo má za následok malý výpadok a výmenu injekčných látok.

Jedinečné atribúty karbidu kremíka môžu poskytnúť ďalšie výhody, pokiaľ ide o čistotu procesu. Na rozdiel od kovov alebo keramických materiálov nižšej triedy, SIC nie je vločky, výtoky alebo chemicky degradované pri extrémnych teplotách alebo v plazme. Vďaka tomu sú držiteľmi lodí SIC skvelým nástrojom pre výrobcov, ktorí sa snažia obmedziť kontamináciu čistých komier pre pokročilé polovodičové uzly, ktoré si vyžadujú vysoký výnos a čistotu.

Držiaky lodí SEMicorex SIC sa vyrábajú pomocou jedinečných formovacích a spekajúcich procesov, ktoré zabezpečujú rovnomernú mikroštruktúru a mechanický výkon medzi dávkami a viacerými držiakmi lodí. Napríklad tvar držiaka alebo konfigurácia slotov je možné prispôsobiť, ako aj typ montáže.

Či už sa používa vo vertikálnych peciach alebo horizontálnych reaktoroch, prispôsobenie moderných lodí SEMICorex SIC sa stretnú s toleranciami pre polovodičové výrobky novej generácie. Ak vyberiete produkty Semicorex, budete vedieť, že ste pracovali s dodávateľom, ktorý je informovaný, venovaný dokonalosti materiálu a snaží sa neustále inovovať keramické komponenty vzhľadom na spoľahlivosť a dodanie.