SiC čln

Semicorex SiC Boats sú starostlivo vyrobené z vysoko čistej SiC keramiky, materiálu známeho pre svoju bezkonkurenčnú tepelnú stabilitu, výnimočnú mechanickú pevnosť a neochvejnú chemickú inertnosť. Vďaka týmto vlastnostiam je ideálnou voľbou pre prísne podmienky výroby polovodičov.

SiC člny sa môžu pochváliť bezkonkurenčnou mechanickou pevnosťou a odolnosťou vďaka tvrdosti materiálu a mimoriadnej odolnosti voči opotrebovaniu. To im umožňuje vydržať náročný charakter prostredia na výrobu polovodičov s vysokou priepustnosťou bez toho, aby podliehali postupnému opotrebovaniu. Na rozdiel od iných materiálov si SiC zachováva svoju štrukturálnu integritu v priebehu času, čím výrazne znižuje potrebu častých výmen a minimalizuje prestoje vo výrobných operáciách – čo v konečnom dôsledku vedie k výrazným úsporám nákladov pre výrobcov polovodičov.

Chemická inertnosť SiC ďalej posilňuje jeho vhodnosť pre polovodičové procesy tým, že je vysoko odolný voči chemickému napadnutiu reaktívnymi plynmi a bežne používanými materiálmi, ako je chlór a fluór. Táto robustná odolnosť zaisťuje, že člny SiC nekontaminujú doštičky počas spracovania, čím sa zachováva čistota a kvalita vyrábaných polovodičových zariadení. Pre procesy vyžadujúce ešte vyššiu úroveň chemickej odolnosti môžu byť lode SiC potiahnuté dodatočnou vrstvou SiC, čím sa vytvorí dodatočná bariéra proti chemickému napadnutiu a zvýši sa povrchová úprava lode, aby sa znížilo riziko kontaminácie časticami.

Vysoká čistota SiC keramiky používanej v týchto člnoch je kritická, pretože výroba polovodičov vyžaduje materiály s minimálnymi nečistotami. Dokonca aj stopové množstvá kontaminantov môžu zhoršiť elektrické vlastnosti doštičiek a viesť k poruchám v konečných zariadeniach. SiC člny sú vyrobené z vysoko čistej SiC keramiky, aby sa zabezpečilo, že nevnášajú žiadne nečistoty do procesného prostredia, dokonca ani pri zvýšených teplotách a reaktívnych podmienkach typických pre výrobu polovodičov. Táto čistota upevňuje spoľahlivosť SiC člnov v kritických procesných krokoch.

Prvoradá je kompatibilita SiC člnov s rôznymi polovodičovými zariadeniami. Všestrannosť SiC umožňuje jeho presné opracovanie tak, aby vyhovovalo špecifickým rozmerom a konfiguráciám požadovaným rôznymi typmi polovodičových pecí a reaktorov, vďaka čomu sú vhodné pre širokú škálu aplikácií, od malých výskumných a vývojových operácií až po veľké výrobné linky. Okrem toho výnimočná tepelná vodivosť a vlastnosti odvádzania tepla prispievajú k efektívnejšej regulácii teploty počas spracovania, čím sa ďalej zvyšuje výkon a výťažnosť polovodičových zariadení.