Konzolové pádlo SiC

Konzolová lopatka Semicorex SiC (karbid kremíka) je kľúčovým komponentom používaným v procesoch výroby polovodičov, najmä v difúznych peciach alebo peciach LPCVD (nízkotlakové nanášanie chemických pár) počas procesov ako difúzia a RTP (Rapid Thermal Processing). Slúži na podopieranie a prepravu plátkov v procesnej rúre týchto pecí.

Semicorex SiC Cantilever Paddle sa skladá predovšetkým z karbidu kremíka, robustného a tepelne stabilného materiálu známeho svojou odolnosťou voči vysokým teplotám a vynikajúcimi mechanickými vlastnosťami. SiC je vybraný pre svoju schopnosť odolávať drsným podmienkam, s ktorými sa stretávame vo vysokoteplotných procesných prostrediach polovodičových pecí. Konštrukcia konzolovej lopatky SiC umožňuje jej predĺženie do procesnej rúrky pece, pričom je pevne ukotvená na jednom konci mimo rúrky. Táto konštrukcia zaisťuje stabilitu a podporu spracovávaných plátkov a zároveň minimalizuje interferenciu s tepelným prostredím vo vnútri pece.

Konzolová lopatka SiC má bezpečne niesť polovodičové doštičky v procesnej trubici počas rôznych vysokoteplotných procesov, ako je difúzia a RTP. Jeho robustná konštrukcia zaisťuje, že dokáže odolávať extrémnym teplotám a chemickým prostrediam, s ktorými sa počas týchto procesov stretávame, bez degradácie alebo zlyhania. Konzolové lopatky SiC sú navrhnuté tak, aby boli kompatibilné so širokou škálou veľkostí a tvarov polovodičových doštičiek bežne používaných v priemysle. Často sú prispôsobiteľné tak, aby vyhovovali špecifickým konfiguráciám pecí a procesným požiadavkám.