Konzolové pádla

Saddles konzoly Semicorex sú vysokovýkonné komponenty, ktoré sú navrhnuté presne na manipuláciu s oblátkami a prepravu doštičiek v polovodičových tepelných spracovateľských zariadeniach (LPCVD, PECVD, oxidácia a difúzne pecia). Tieto konzolové lopatky poskytujú platformu pre doštičky a potrebnú formu podpory, ktorá zaisťuje stabilnú a spoľahlivú prepravu krehkých doštičiek tvrdými vysokoteplotnými procesmi (často presahujúcim 1200 ° C). Stády konzoly sa vyrábajú z karbidu kremíka s vysokou čistotou (SIC), ktorý poskytuje mechanickú trvanlivosť, tepelnú stabilitu a antikorozívne vlastnosti pre prostredie výroby polovodičov.

Karbid kremíka je super-prémiový keramický materiál s vynikajúcou tepelnou vodivosťou, nízkou tepelnou expanziou a schopnosťou spoľahlivo vykonávať v chemicky nepriateľskom prostredí. Karbid kremíka v konzolových lopatkách môže pomôcť znížiť tepelné deformácie

 a pohyb, ktorý udržiava oblátky ploché a v ich nominálnej spracovateľskej polohe. Tepelná stabilita oblátky v kontexte konzolových lopatiek je dôležitá na minimalizáciu problémov kontaminácie častíc a mechanického pohybu, najmä pri výrobe pokročilých zariadení uzlov. Tieto problémy môžu mať za následok stratu výnosu alebo nákladné prepracovanie a výmenu doštičiek.

Monolitická forma konzolových lopatiek SIC zlepšuje mechanickú robustnosť a tepelnú uniformitu, pričom eliminuje kĺby a slabé body, ktoré môžu zvyčajne existovať v kompozitoch. Ďalej je povrchová povrchová úprava lopatiek špecificky riadená a vo všeobecnosti leštená do takmer zrkadlovej kvality, aby sa minimalizovala tvorba častíc a je veľmi kompatibilná s triedou čistých miestností.

V procesoch difúzie a oxidácie, ktoré zahŕňajú kyslík, paru a ďalšie reaktívne plyny; Konvenčné materiály sa môžu časom roztavovať alebo deformovať. Inherentná chemická inertná vlastnosť spoločnosti SIC zaisťuje, že pádla nevystúpi alebo koroduje a zavedie kontamináciu procesu v dôsledku použitia nestabilných materiálov, čo prispieva k stabilnejším procesom a spoľahlivejším výsledkom.  Štrukturálna integrita konzolových loptičiek SIC zostáva stabilná napriek rýchlemu cyklistiu vykurovania a chladenia. Preto ponúkajú dlhú prevádzkovú životnosť so značne zníženou údržbou alebo výmenou výmeny dielu.

Okrem toho znížená hmotnosť a ľahká hmotnosť SIC pádiel umožňuje rýchlejšiu tepelnú odozvu; Tým, čo umožňuje rýchlejšie tepelné nárasty a časy ochladzovania, čo prispieva k zvýšenej produktivite a energetickej účinnosti, všetky hlavné metriky v konkurenčnej krajine výroby polovodičov.

Saddles konzoly SIC je možné dodávať v rôznych konfiguráciách a veľkostiach, navrhnutých a vyrobených tak, aby vyhovovali rôznym návrhu pecí a veľkostí oblátok v rozmedzí od 100 mm do 300 mm a väčšie. OEM a integrátori zariadení oceňujú konzistentnosť a spoľahlivosť loptičiek SIC v priebehu času, za nasadenie v procesoch front-end aj back-end.

SemiCorex ponúka prémiové konzolové pádla SIC s pevnou kontrolou čistoty materiálu, mikroštruktúry a rozmerových tolerancií. Naše pokročilé schopnosti procesu, spojené s našimi znalosťami polovodičovej tepelnej dynamiky, nám umožňujú vyrábať pádla s týmito atribútmi, ktoré spĺňajú alebo presahujú priemyselné normy pre stabilitu, čistotu a trvanlivosť. Ak to musí byť správne a spoľahlivé, Semicorex je miestom, kde sa dá ísť za kvalitné komponenty SIC.