Keramické lode SIC

Keramické lode SemiCorex sú najmodernejšie nosiče špeciálne určené na bezpečnú prepravu, skladovanie a spracovanie polovodičových doštičiek v najnáročnejších chemicky a tepelne extrémnych prostrediach. Polovodičový priemysel rýchlo prijal nové výkonnostné štandardy, ktoré vyžadovali, aby SIC keramické lode spoľahlivo, dôveryhodne a bez kontaminácie dosiahli netolerantné a kritické požiadavky na moderné výrobné procesy doštičiek.

Silná tepelná stabilita a sila

Definujúcim atribútom SIC keramických lodí je jeho veľmi vysoká tepelná stabilita. Keramické člny SIC môžu vydržať teplotu presahujúcu 1600 ° C bez straty tvaru alebo štruktúry počas agresívnych procesov tepelnej cyklistiky. V dôsledku ultra nízko tepelného expanzného koeficientu sú SIC keramické lode menej náchylné na skreslenie a krakovanie, čo umožňuje prísnu toleranciu a celkovú bezpečnosť oblákkov počas manipulácie za tvrdých podmienok.

Vysoká čistota a chemická odolnosť

Keramické člny SIC sú vyrobené z ultra vysokého čistenia kremíkového karbidu. Keramické člny SIC sú tiež vysoko odolné voči chemickej degradácii, korozívnej a erodujúcej plazme. Inertná povaha keramických člnov SIC znamená procesy korozívnych plynov, reaktívne prostredia, kyslé podmienky by nevytvorili buď kontamináciu z lode alebo nič rozpustné, aby sa poškodilo pracovný proces. Nekontaminujúci povrch keramických člnov SIC neumožňuje tvorbu častíc ani vylúhovanie iónov, takže povrch oblátky nie je ohrozený nečistotami, ktoré bránia výkonu alebo výnosu zariadenia.

Presné inžinierstvo pre bezpečnú a bezpečnú manipuláciu s oblátkami

Keramické člny SIC sa vyrábajú v tesných toleranciách, čo im umožňuje zvládnuť doštičky s rôznymi priemermi, vrátane 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm a viac. Konštrukčný dizajn lodí SIC poskytuje vynikajúcu rovinnosť, paralelizmus a rovnomernú veľkosť slotu na udržanie správnej orientácie na lapovanie doštičiek a na ochranu okrajov oblátky pri prenose do iného procesu alebo nástroja. Všetky lode SIC môžu byť navrhnuté s vlastnými rozmermi, ktoré zodpovedajú množine nástrojov alebo spĺňajú všetky špecifikácie automatizácie.

Dlhá životnosť a nákladovo efektívnejšia

SIC nahrádza tradičné materiály (kremeň, alumina) výrazne zlepšenou mechanickou pevnosťou, húževnatosťou zlomenín a odolnosťou proti tepelnému nárazu. Táto úroveň trvanlivosti sa premieta do dlhšej životnosti pred „zlyhaním“, čo je výrazne menej výmeny počas prevádzky a nižšie celkové náklady na vlastníctvo. Konzistentnosť výkonu zo trvanlivosti SIC zníži časy zníženia a urýchli priepustnosť na výrobných vedeniach polovodičov.

Otvorte aplikácie v polovodičových procesoch

SIC keramické člny sa široko používajú v predných polovodičových procesoch, ako napríklad:

LPCVD a PECVD depozícia

Tepelná oxidácia

Iónová implantácia

Žíhanie a difúzia

Čistenie oblátok a chemické spracovanie

Keramické rukoväte SIC majú kompatibilné aplikácie na spracovanie v komorách atmosféry aj vákuových procesov, čo z neho robí ideálnu voľbu pre zlievárne a FAB, ktorí sa snažia minimalizovať a znížiť riziko kontaminácie pri zvýšení produktivity.