SiC keramické robotické rameno

SiC keramikarobotické ramenosa používa vo viacerých procesoch výroby polovodičových doštičiek, pričom zohráva dôležitú úlohu pri zabezpečovaní kvality a efektívnosti výroby doštičiek. Bežne sa inštaluje vo vnútri a mimo komôr rôznych polovodičových predných zariadení, ako sú leptacie stroje, nanášacie zariadenia, litografické stroje, čistiace zariadenia, ktoré sa priamo podieľajú na manipulácii a umiestňovaní polovodičových doštičiek. 

Polovodičové doštičky sú ľahko kontaminované časticami, takže súvisiace výrobné procesy sa vykonávajú hlavne v čistých a vákuových polovodičových zariadeniach. V skutočnej prevádzke, ako základná súčasť takéhoto zariadenia, prichádza keramické robotické rameno SiC do priameho kontaktu s polovodičovými doštičkami a musí tiež spĺňať mimoriadne vysoké požiadavky na čistotu. Keramické robotické rameno SiC spoločnosti Semicorex je vyrobené z vysoko výkonnej keramiky z karbidu kremíka s následnou precíznou povrchovou úpravou a čistením, ktoré dokáže presne splniť prísne požiadavky výroby polovodičov na čistotu a rovinnosť povrchu. To výrazne prispieva k zníženiu defektov doštičiek a zlepšeniu výťažnosti výroby doštičiek.

SiC keramikarobotické rameno je optimálnou voľbou pre postupy tepelného spracovania, ako je žíhanie, oxidácia a difúzia. Vďaka výnimočnej tepelnej stabilite a vynikajúcej odolnosti materiálov z karbidu kremíka proti tepelným šokom sú keramické robotické rameno SiC schopné spoľahlivo fungovať po dlhú dobu za podmienok vysokej teploty. Dokáže odolávať vplyvu tepelnej rozťažnosti a zachováva si svoju štrukturálnu integritu pri tepelnom namáhaní, čím zabezpečuje konzistentnú presnosť polohovania plátku.

Vďaka svojej robustnej odolnosti voči korozívnym plynom a kvapalinám si keramické robotické rameno SiC môže stabilne udržiavať svoj výkon aj pri vystavení agresívnym korozívnym procesným atmosférám, ako je leptanie, nanášanie tenkých vrstiev a implantácia iónov. Táto odolnosť proti korózii zlepšuje účinnosť výroby polovodičových doštičiek tým, že účinne znižuje riziko poškodenia komponentov súvisiacich s koróziou a znižuje potrebu častých výmen a údržby.