SiC keramické vákuové skľučovadlo

Ako sa snažia o Mooreov zákon, zariadenia na výrobu polovodičov potrebujú platformy na držanie plátkov, ktoré dokážu vydržať silné mechanické sily a zostať ploché, bez hrbolčekov alebo poklesov. Keramické vákuové skľučovadlo Semicorex SiC poskytuje dokonalé riešenie na nahradenie tradičných skľučovadiel z oxidu hlinitého a nehrdzavejúcej ocele; budú poskytovať potrebný pomer tuhosti k hmotnosti a nebudú chemicky reagovať, čo je nevyhnutné na spracovanie 300 mm plátkov a viac.

1. Materiálové výhody pri použití spekaného hutného karbidu kremíka (SSiC).

Hlavná zložka nášhoSiC keramikaVákuové skľučovadlo je spekanéKarbid kremíka, materiál definovaný svojou veľmi silnou kovalentnou väzbou. Náš SSiC nie je porézny ani reakčne viazaný; skôr sa speká pri > 2000 stupňoch Celzia, aby sa dosiahla takmer teoretická hustota (> 3,10 g/cm3) – jednoducho povedané, je pevnejšia ako iné materiály používané na výrobu vákuových skľučovadiel.

Výnimočná mechanická tuhosť.

Youngov modul SSiC je približne 420 GPa, vďaka čomu je oveľa tuhší ako oxid hlinitý (približne 380 GPa). Vďaka tomuto vysokému modulu pružnosti zostanú naše skľučovadlá stabilné v podmienkach vákua aj vysokej rýchlosti otáčania a nebudú sa deformovať; preto oblátky nebudú "zemiakové lupienky" (t. j. nebudú sa deformovať) a vždy budú mať jednotný kontakt po celej svojej povrchovej ploche.

Tepelná stabilita a nízky CTE

V procesoch zahŕňajúcich vysoko intenzívne UV žiarenie alebo teplo vyvolané trením môže tepelná rozťažnosť viesť k chybám prekrytia. Naše SiC skľučovadlá majú nízky koeficient tepelnej rozťažnosti (CTE) 4,0 x 10^{-6}/K, spojený s vysokou tepelnou vodivosťou (>120W/m·K). Táto kombinácia umožňuje skľučovadlu rýchlo odvádzať teplo a udržiavať rozmerovú stabilitu počas dlhotrvajúcich litografických alebo metrologických cyklov.

2. Presné inžinierstvo a dizajn

Ako je vidieť na obrázku produktu, naše vákuové skľučovadlá majú zložitú sieť koncentrických a radiálnych vákuových kanálov. Sú CNC obrábané s extrémnou presnosťou, aby sa zabezpečilo rovnomerné nasávanie cez plátok, čím sa minimalizujú lokalizované namáhané body, ktoré by mohli viesť k zlomeniu plátku.

Sub-mikrónová rovinnosť: Na dosiahnutie globálnej rovinnosti <1μm využívame pokročilé techniky brúsenia a lapovania diamantom. To je rozhodujúce pre udržanie ohniskovej hĺbky požadovanej v pokročilých litografických uzloch.

Odľahčenie (voliteľné): Na prispôsobenie stupňov s vysokou akceleráciou v stepperoch a skeneroch ponúkame vnútorné voštinové „odľahčujúce“ štruktúry, ktoré znižujú hmotnosť bez ohrozenia tuhosti konštrukcie.

Obvodové zarovnávacie zárezy: Integrované zárezy umožňujú bezproblémovú integráciu s robotickými koncovými efektormi a snímačmi zarovnania v rámci procesného nástroja.

3. Kritické aplikácie v dodávateľskom reťazci polovodičov

Naše SiC keramické vákuové skľučovadlá sú priemyselným štandardom pre:

Ztenčovanie a brúsenie plátkov (CMP): Poskytovanie pevnej podpory potrebnej na riedenie plátkov až na mikrónovú úroveň bez odlamovania hrán.

Litografia (steppery/skenery): Pôsobí ako ultra-ploché „pódium“, ktoré zabezpečuje presné laserové zaostrovanie pre uzly pod 7 nm.

Metrológia a AOI: Zabezpečenie dokonale plochých doštičiek pre kontrolu s vysokým rozlíšením a mapovanie defektov.

Oblátkové krájanie: Poskytuje stabilné sanie počas vysokorýchlostných mechanických alebo laserových operácií krájania kociek.

V Semicorex chápeme, že vákuové skľučovadlo je len také dobré, aká dobrá je jeho povrchová celistvosť. Každé skľučovadlo prechádza viacstupňovým procesom kontroly kvality:

Laserová interferometria: Na overenie rovinnosti po celom priemere.

Testovanie netesnosti hélia: Zabezpečenie dokonalého utesnenia a účinnosti vákuových kanálov.

Čistenie čistých priestorov: Spracované v prostrediach triedy 100, aby sa zabezpečila nulová kovová alebo organická kontaminácia.

Náš inžiniersky tím úzko spolupracuje s výrobcami nástrojov OEM na prispôsobení vzorov štrbín, rozmerov a montážnych rozhraní. Výberom Semicorex investujete do komponentu, ktorý znižuje prestoje, zlepšuje presnosť prekrytia a znižuje vaše celkové náklady na vlastníctvo vďaka extrémnej odolnosti.