SiC keramické oblátkové člny

Výber spoľahlivých a odolných člnov s plátkami je rozhodujúci pre zabezpečenie stability procesu a výťažnosti plátkov počas prevádzkových podmienok pri vysokej teplote a vysokej korózii. SemicorexSiC keramikaOblátkové člny sú ideálnou voľbou pre tieto účely, pretože využívajú svoje viaceré výhody vrátane vysokej integrácie, vysokej stability, odolnosti voči vysokej teplote, odolnosti proti opotrebeniu a dlhej životnosti.

Výber prémiových surovín

Kontrola kvality spoločnosti SemicorexSiC keramické oblátkové lodičkyzačína ich prísnym výberom surovín. Keramické doštičky Semicorex SiC sú vyrobené z vysoko čistého práškového karbidu kremíka na úrovni polovodičov prostredníctvom vysokoteplotného spekania. Vďaka svojej prémiovej surovine poskytujú nasledujúci výnimočný výkon.

1. Ultra vysoká čistota, nízka kontaminácia kovovými nečistotami.

2. Hustá štruktúra materiálu, ktorá znižuje kontamináciu plátku spôsobenú uvoľňovaním častíc.

3. Vynikajúca odolnosť proti korózii voči plazme, silným kyselinám a zásadám.

4. Vysoká tvrdosť a mechanická pevnosť, odolná voči opotrebovaniu a poškriabaniu.

5. Vynikajúca tepelná stabilita, žiadna deformácia alebo tečenie pri 1250°C.

6. Vynikajúca odolnosť proti tepelným šokom, znižuje tepelné namáhanie z rýchlych zmien teploty.

Premyslený dizajn na mieru

Keramické doštičky Semicorex SiC sa dobre hodia k mnohým popredným výrobcom pecí v tomto odvetví, ako sú TEL, ASM a Kokusai Electric. Semicorex ponúka našim váženým zákazníkom riešenia na mieru, ktoré podporujú prispôsobenie rozmerov oblátkových člnov, rozstupu štrbiny, hĺbky štrbiny, profilu štrbiny (tvaru V alebo U) a zodpovedajúcich uhlov, aby bola umožnená dokonalá kompatibilita s vaším vybavením a požiadavkami na spracovanie.

Presná presnosť obrábania

Vďaka pokročilým obrábacím zariadeniam a vyspelým technológiám spracovania je spoločnosť Semicorex schopná prísne kontrolovať rozmery a tolerancie svojich keramických doštičiek SiC. Toto vysoko presné riadenie rozmerov zaisťuje, že polovodičové doštičky sú počas prevádzky pevne umiestnené, čo účinne zabraňuje poškodeniu doštičiek v dôsledku skĺznutia alebo naklonenia. Po presnom opracovaní môžu rovnomerne rozmiestnené štrbiny keramických doštičiek SiC zabezpečiť, aby sa každý plátok zahrieval a reagoval rovnomerne počas procesov oxidácie, difúzie a CVD, čo výrazne prispieva k zlepšeniu konzistencie procesu a výťažnosti polovodičových čipov.