Krúžky SiC Focus

Pokročilé krúžky SiC Focus s vysokou čistotou Semicorex sú vyrobené tak, aby odolali extrémnym prostrediam v komorách na plazmové leptanie (alebo suché leptanie). Zameriavame sa na polovodičový priemysel, ako sú vrstvy karbidu kremíka a epitaxné polovodiče. Naše produkty majú dobrú cenovú výhodu a pokrývajú mnohé z európskych a amerických trhov. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Semicorex dodáva SiC Focus Rings je skutočne stabilný pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie. SiC Focus Rings alebo okrajové krúžky sú navrhnuté tak, aby zlepšili rovnomernosť leptania okolo okraja alebo obvodu plátku. Minimalizujte kontamináciu a neplánovanú údržbu pomocou vysoko čistých komponentov navrhnutých pre náročné spracovanie plazmového leptania. Naše krúžky SiC Focus s povlakom SiC sú hustým povlakom z karbidu kremíka (SiC) odolným voči opotrebovaniu. Má vysokú odolnosť proti korózii a teplu, ako aj vynikajúcu tepelnú vodivosť. SiC nanášame v tenkých vrstvách na grafit pomocou procesu chemického vylučovania z plynnej fázy (CVD).

Parametre krúžkov SiC Focus

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC
Vlastnosti SiC-CVD
Kryštálová štruktúra	FCC β fáza
Hustota	g/cm³	3.21
Tvrdosť	Tvrdosť podľa Vickersa	2500
Veľkosť zrna	μm	2~10
Chemická čistota	%	99.99995
Tepelná kapacita	J kg-1 K-1	640
Teplota sublimácie	℃	2700
Felexurálna sila	MPa (RT 4-bodové)	415
Youngov modul	Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)	430
Tepelná expanzia (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Tepelná vodivosť	(W/mK)	300

Vlastnosti SiC Focus Rings

- CVD povlaky z karbidu kremíka na zlepšenie životnosti.

- Tepelná izolácia vyrobená z vysoko výkonného čisteného tuhého uhlíka.

- Ohrievač a doska z uhlíkového/uhlíkového kompozitu. - Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú vysokú tepelnú vodivosť a vynikajúce vlastnosti rozloženia tepla.

- Vysoko čistý grafit a SiC povlak pre odolnosť proti dierkovaniu a vyššiu životnosť