SIC horizontálne pecné rúry

SIC horizontálne rúry pecesú nevyhnutné nosiče pecného systému, bežne umiestnené v oblasti ohrevu jadra zariadení na výrobu polovodičov alebo fotovoltaických výrobných zariadení. Spolupracujú s vykurovacími prvkami, systémami na reguláciu teploty, systémami na reguláciu plynu a oblátkovými člnmi, aby vytvorili kompletný systém pece.

V samotnej prevádzke sú horizontálne rúry pece SIC ohrievané vykurovacími prvkami, ktoré rovnomerne odovzdávajú teplo do rúr pecí pomocou vynikajúcej tepelnej vodivosti materiálov z karbidu kremíka. Medzitým sa do rúry pece zavádzajú špecifické procesné plyny (ako je kyslík, dusík, dopingové plyny atď.). Pod vplyvom tejto vysokoteplotnej plynovej atmosféry budú polovodičové materiály vo vnútri pece podliehať chemickým reakciám alebo fyzikálnym zmenám, čím sa nakoniec dosiahne modifikácia materiálu, dopovanie alebo štrukturálna optimalizácia.

Horizontálne pece SIC od Semicorexu poskytujú pozoruhodnú mechanickú pevnosť a tvrdosť, čo hrá významnú úlohu v aplikáciách zahŕňajúcich manipuláciu a spracovanie veľkoobjemových plátkov. Horizontálne rúry pece SIC sú schopné poskytnúť stabilnú podporu pre doštičky v procesoch tepelného spracovania, ako je oxidácia, difúzia a žíhanie, čím sa zabezpečí, že plátky budú v správnej polohe počas vysokoteplotného spracovania a zabráni sa posunutiu alebo deformácii spôsobenej tepelným namáhaním.

Horizontálne pece SIC od Semicorex sú vyrobené z vysoko čistýchkeramika z karbidu kremíkas ultranízkym obsahom nečistôt, po ktorom nasleduje nanesenie CVDpovlak z karbidu kremíkana ich povrchu. Táto výrobná metóda pridáva k horizontálnym pecným rúram SIC ochrannú vrstvu, ktorá im umožňuje stabilnú prevádzku v náročných vysokoteplotných a korozívnych prostrediach v priebehu času. Táto odolnosť rúr horizontálnych pecí SIC proti korózii zlepšuje efektívnosť výroby polovodičových doštičiek tým, že účinne znižuje riziko poškodenia komponentov v dôsledku korózie a znižuje potrebu častých výmen a údržby.

S toľkými vynikajúcimi vlastnosťami sú horizontálne pece Semicorex SIC široko používané v mnohých procesoch vysokoteplotného spracovania vo fotovoltaickom a polovodičovom priemysle, ako je oxidačný proces, difúzny proces, žíhanie a nízkotlakové chemické nanášanie pár.